TEM-TECH 工艺气体压力传感器 NPS1000B系列

一、定位与用途

• 用途：半导体高纯工艺气体、腐蚀性气体 / 药液压力测量与现场显示

• 典型场景：VMB、BSGS、气体柜、高纯气体输送管路

• 特色：哈氏合金 C-22 膜片 + 316L 本体 + VCR/UJR 高纯接口，带数字显示，稳定性高。

二、核心特点

1. 高纯防腐接液材质

• 膜片：哈氏合金 C-22（Hastelloy C-22）

• 本体 / 接口：316L 不锈钢（VIM/VAR 精炼）

• 适配介质：Cl₂、HCl、HF、SiH₄、NH₃等强腐蚀 / 高纯气体。

2. 宽量程（含负压）

• -0.1MPa（真空）

• 0~0.5MPa、1MPa、2MPa、3.5MPa

• 0~20MPa、25MPa、35MPa（高压型）。

• 标准量程（表压 / 复合压）：

3. 一体化显示与信号输出

• 自带4 位 LED 现场显示（字高 8mm）

• 输出：4–20mA 两线制（标准），可选 1–5V/0–10V

• 精度：±0.5%FS（含线性、迟滞、重复性）。

4. 洁净与安全设计

• 接口：1/4" VCR 或 UJR 高纯密封

• 泄漏率：＜5×10⁻¹² Pa·m³/s

• 防护：IP55；工作温度：0~60℃。

三、技术参数

• 供电：DC 24V ±10%

• 输出：4–20mA（两线），可选电压输出

• 精度：±0.5%FS（25℃）

• 响应时间：＜10ms

• 接液材质：哈氏合金 C-22 膜片、316L 本体

• 连接：1/4" VCR/UJR

• 工作温度：0~60℃

• 防爆：非防爆（安全区）。

四、应用场景

1. 半导体：高纯气体（N₂、H₂、O₂、Ar）、腐蚀性工艺气体（Cl₂、BCl₃、HF）管路监测

2. 化工：精细化工高纯流体、强腐蚀介质压力测量

3. 气体输送：VMB/BSGS 分支压力、钢瓶出口压力监控。