TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SE3000系列
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SE3000系列TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SE3000系列一、核心定位SE3000 是 TEM‑TECH 专为强腐蚀化学品、超纯水、高纯工艺气体开发的全 PFA 非金属压力变送器，接液部无金属、无 O‑Ring，干式专利气囊结构，主打极致耐腐蚀与高洁净，适配半导体 CMP 浆料、化学品输送及高纯腐蚀性气体（如 Cl₂、HCl）工况。二、关键特点全
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SE3000系列
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SE3000系列
一、核心定位
SE3000 是 TEM‑TECH 专为强腐蚀化学品、超纯水、高纯工艺气体开发的全 PFA 非金属压力变送器，接液部无金属、无 O‑Ring，干式专利气囊结构，主打极致耐腐蚀与高洁净，适配半导体 CMP 浆料、化学品输送及高纯腐蚀性气体（如 Cl₂、HCl）工况。
二、关键特点
- 全 PFA 接液，极致耐腐蚀
接液材质：隔膜 / 本体全 PFA（可溶性聚四氟乙烯），无金属、无 O‑Ring。
耐受介质：强酸、强碱、有机溶剂、超纯水、高纯腐蚀性气体（Cl₂、HCl、HF 等）。
结构：一体成型 + 专利气囊测量，双重隔膜，抗疲劳、防泄漏。
- 低压专用，量程精简
标准量程（表压）：0~0.3MPa、0~0.5MPa、0~1MPa。
耐压：0.3/0.5MPa 量程→0.75MPa；1MPa 量程→1.25MPa。
专为低压高纯 / 腐蚀介质设计，杜绝金属离子污染。
- 高洁净无污染，半导体级
无金属接液、无 O‑Ring，无析出、无离子污染。
适配 SEMI 标准，用于半导体化学品输送、CMP 浆料、超纯水系统。
全焊接密封，氦检漏率≤5×10⁻¹² Pa・m³/s。
- 紧凑轻巧，安装灵活
形状：S 型（直管）、T 型（三通），适配管路 / 面板安装。
过程接口：1/4”~1” PFA 软管、扩口、Super 300，匹配半导体 / 化工标准。
外壳：聚丙烯（PP），耐腐绝缘，防护等级IP65。
- 稳定可靠，适配恶劣工况
综合精度：±1.0%FS（线性 + 迟滞 + 重复性）。
温漂：±0.5%FS/℃（0~50℃补偿）。
响应时间：<10ms，动态响应快。
防爆：非防爆（2 区安全区使用）。
三、技术参数（精简）
压力参数
测量量程（表压）：0~0.3MPa、0~0.5MPa、0~1MPa
耐压：0.75MPa（0.3/0.5MPa 量程）、1.25MPa（1MPa 量程）
压力类型：表压
电气参数
供电电压：DC 15~24V±10%
信号输出：4–20mA（2 线）；0–5V/1–5V/0–10V（3 线）
绝缘电阻：≥100MΩ（DC 500V）
性能指标
综合精度：±1.0% FS
温度漂移：±0.5% FS/℃
温度补偿范围：0~50℃
响应时间：＜10ms
机械与环境参数
接液材质：隔膜 / 本体 PFA；外壳 PP
工艺接口：1/4”~1” PFA 软管、扩口、Super 300
工作温度：‑10~60℃
防护等级：IP65
防爆等级：非防爆（适配 2 区）
四、应用场景
半导体：强腐蚀工艺气体（Cl₂、HCl、HF）、化学品输送、CMP 浆料、超纯水系统（非防爆区）。
精细化工：强酸 / 强碱 / 有机溶剂管线、反应釜低压监测（非防爆区）。
光伏 / 医药：高纯腐蚀性气体、无菌药液、超纯水压力监测。
五、使用注意事项
仅限 ** 非防爆区（2 区）** 使用，严禁用于 0 区 / 1 区爆炸性环境。
介质温度≤60℃，避免超温导致 PFA 软化变形。
安装时接口密封到位，防止腐蚀介质泄漏，建议专用 PFA 管件连接。
禁止用于高压冲击工况，避免气囊隔膜损坏