TEM-TECH 工艺气体压力传感器 KS系列

一、核心定位

二、关键特点

1. 2 区 n 型防爆，安全适配危险区

• 防爆等级：Ex nA II CT5 Gc（非点火保护 “n 型”），适用于 2 区爆炸性气体环境。

• 认证：KOSHA、NEPSI 相关认证，防护等级IP65，防尘防水。

• 安全参数：最高输入电压 24V，适配常规低压供电回路。

2. 超低压精准测量，微压段专用

• 标准量程（表压）：0~5kPa（微压）、‑0.1~0.5MPa、0~1MPa、0~2MPa、0~3.5MPa。

• 耐压：2×FS（全量程），内置过压保护，抗冲击。

• 专为低压 / 微压设计，小压力波动捕捉灵敏，最低可测 5kPa微压。

3. 高洁净耐腐蚀，适配高纯 / 特种气体

• 隔膜：哈氏合金 C‑22（标准），强耐腐蚀，适配 SiH₄、NH₃等特种气体。

• 本体：SUS316L（VIM+VAR），EP 抛光 Ra<0.25μm，符合 SEMI F19。

• 全焊接干式结构，氦检漏率≤5×10⁻¹² Pa・m³/s，无泄漏风险。

4. 紧凑小型化，安装灵活

• 体积小、重量轻，适配狭小空间（如 VMB 内部）。

• 过程接口：1/4” VCR、UJR、卡套、PT/PF 螺纹可选，匹配半导体标准管路。

• 可直接安装，无需复杂支架，布线灵活。

5. 稳定可靠，低温漂高精度

• 综合精度：±0.25%FS（线性 + 迟滞 + 重复性），低压测量精准。

• 温漂：±0.05%FS/℃（0~50℃补偿），温度稳定性好。

• 响应时间：<10ms，动态响应快，适配压力波动工况。

三、技术参数（精简）

压力参数

• 测量量程（表压）：0~5kPa、‑0.1~0.5MPa、0~1MPa、0~2MPa、0~3.5MPa

• 耐压：2×FS

• 过压保护：内置限位防护

电气参数

• 供电电压：DC 12~24V±10%

• 信号输出：4–20mA（2 线）、1–5V（3 线）

• 绝缘电阻：≥100MΩ（DC 500V）

性能指标

• 综合精度：±0.25% FS

• 温度漂移：±0.05% FS/℃

• 温度补偿范围：0~50℃

• 响应时间：＜10ms

机械与环境参数

• 接液材质：隔膜哈氏合金 C‑22；本体 SUS316L

• 工艺接口：1/4 英寸 VCR、UJR、卡套、PT/PF 螺纹可选

• 工作温度：‑10~60℃

• 防护等级：IP65

• 防爆等级：Ex nA II CT5 Gc（2 区）

四、应用场景

1. 半导体 / 光伏：2 区危险环境低压特种气体（SiH₄、NH₃、H₂）管路、气瓶柜、VMB 阀组、气体分配面板。

2. 精细化工：2 区低压可燃 / 腐蚀性工艺气体压力监测。

3. 工业气体场站：高纯氮气、氧气、氩气等低压输送管线（2 区）压力检测。

五、使用注意事项

1. 仅限 **2 区（Zone 2）** 使用，严禁用于 0 区 / 1 区爆炸性气体环境。

2. 安装时保证接口密封完好，防止气体泄漏，建议使用专用工具紧固。

3. 避免超温、剧烈震动与强腐蚀环境，定期检查线路与密封件。

4. 介质温度过高时需加装散热装置，防止传感器损坏。