TEM-TECH 工艺气体压力传感器 HYW系列
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 HYW系列TEM-TECH 工艺气体压力传感器 HYW系列产品简介本系列为高纯工艺气体专用压力变送器，采用干式无充液结构，具备高洁净、强耐腐蚀、低泄漏特性，广泛应用于半导体、光伏、制药等行业的高纯及腐蚀性气体压力监测。核心特点接触介质部位采用哈氏合金 C-22 隔膜与 SUS316L 主体，可耐受多种腐蚀性工艺气体；表面电解抛光，洁净度符合行业标准。内部无填充
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 HYW系列
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 HYW系列
产品简介
本系列为高纯工艺气体专用压力变送器，采用干式无充液结构，具备高洁净、强耐腐蚀、低泄漏特性，广泛应用于半导体、光伏、制药等行业的高纯及腐蚀性气体压力监测。
核心特点
接触介质部位采用哈氏合金 C-22 隔膜与 SUS316L 主体，可耐受多种腐蚀性工艺气体；表面电解抛光，洁净度符合行业标准。
内部无填充液体，彻底避免污染高纯气体，适配超高纯气体工况。
测量精度高，温漂控制优异，长期运行数值稳定。
密封性能优异，氦检泄漏率极低，满足高端气体管路密封要求。
体积小巧、重量轻，适配机柜、狭小空间安装。
技术参数
压力量程
表压：0~0.5MPa、0~1MPa、0~2MPa、0~3.5MPa、0~5MPa、0~20MPa、0~25MPa、0~35MPa真空复合量程：-0.1~0.5MPa、-0.1~1MPa、-0.1~2MPa、-0.1~3.5MPa
电气参数
供电电压：DC 24V±10%，兼容 15V~24V信号输出：4-20mA 两线制、1-5V 三线制整机功耗：≤0.5W
环境与机械参数
工作温度：0℃~60℃，环境无凝露、无结冰温度补偿范围：0℃~50℃防护等级：IP55（室内使用）标准接口：1/4 英寸 VCR，可选 UJR、3/8 英寸、1/2 英寸接口安装型式：S 型单端式、T 型直通式
性能指标
综合精度：±0.3% FS温度漂移：±0.05% FS/℃泄漏率：＜5×10⁻¹² Pa・m³/s
型号编码说明
以 HYWSMV-420TC1 为例HYW：产品系列S：单端结构；T：直通结构M：固定公头；N：旋转公头；F：旋转母头V：VCR 接口420：4-20mA 输出；105：1-5V 输出T：航空接头；P：引线式C1：1/4 英寸规格
应用场景
半导体行业：工艺气体管道、气体分配柜、气瓶柜、蚀刻与薄膜沉积设备
光伏、显示面板生产线：高纯气体输送系统压力检测
精细化工、生物制药：腐蚀性气体、洁净流体压力监测
系列区分
HYW：标准精度款，性价比高，为通用主力型号HYZ：高精度升级款，精度 ±0.2% FS，自带温度检测，温漂更低，适用于高精度管控场景
使用注意事项
仅限室内环境使用，避免淋雨、高温及剧烈震动。
安装时保证管路连接密封，严禁大力拧动接口。
匹配对应介质工况，腐蚀性气体优先选用合金接触件版本。
接线严格按照规格要求操作，避免电压异常损坏设备。