KASUGA春日电机 真实等离子器 APG-500
KASUGA春日电机 真实等离子器 APG-500KASUGA春日电机 真实等离子器 APG-500KASUGA 春日电机 APG‑500 真实等离子器（Real Plasma）APG‑500 是春日电机的常压低温等离子处理系统 ，主打无电损伤、低热、高精度表面改质与有机清洗，适配电子 / 半导体 / 精密光学等敏感基材特色真实等离子体是一种等离子体处理装置，利用高频高电压产生的电能照
KASUGA春日电机 真实等离子器 APG-500
KASUGA春日电机 真实等离子器 APG-500
KASUGA 春日电机 APG‑500 真实等离子器（Real Plasma）
APG‑500 是春日电机的常压低温等离子处理系统 ，主打无电损伤、低热、高精度表面改质与有机清洗，适配电子 / 半导体 / 精密光学等敏感基材
特色
真实等离子体是一种等离子体处理装置，利用高频高电压产生的电能照射放电喷嘴内产生的类等离子体电离气体，从而改变目标材料表面并去除有机物。 由于等离子体几乎电性中性，基板不会受到电气或热损伤，从而能够对敏感的基板如印刷电路板和液晶面板进行表面处理。
什么是等离子体？
等离子体是继固体、液体和气体之后的第四种物质状态，气分子被电离、分离成电子和阳离子，并且处于运动状态。 真实的等离子体利用电能产生等离子体。
规格
| 输入电源 | 单相交流 200V/220V，50/60Hz | |
|---|---|---|
| 功率容量 | 1000VA | |
| 空气供应源 | 150NL/min 0.5Mpa或更高 *无油空气源，排放量超过200升/分钟 | |
| 空中补给口 | φ10 一触接头 | |
| 处理宽度 | 24毫米（使用空气时间隙5毫米*可能因材料和处理物体形状而异） | |
| 设置距离 | 5~10mm（从喷嘴尖端到工件） | |
| 帧温 | 68°C（酒精温度计，2分钟，Ta=21°C） | |
| 待处理对象 | 塑料、玻璃、金属、半导体、电子基板 | |
| 尺寸 | 振荡器 AGF-C20R | 250×180×300毫米 |
| 等离子单元 APG-500 | 400×270×345毫米 | |
| 等离子头 PH-500 | 320×63×106毫米 | |
| 质量 | 振荡器 AGF-C20R | 11公斤 |
| 等离子单元 APG-500 | 8.9公斤 | |
| 等离子头 PH-500 | 2.2公斤 | |
| 环境 | 温度：5°C~40°C，湿度：17%~70% RH（无冷凝水） | |