【高斯摩分享】半导体湿法在线监测｜HORIBA 堀场 HZ-960 溶解臭氧浓度计技术解析
【高斯摩分享】半导体湿法在线监测｜HORIBA 堀场 HZ-960 溶解臭氧浓度计技术解析
【高斯摩分享】半导体湿法在线监测｜HORIBA 堀场 HZ-960 溶解臭氧浓度计技术解析
产品概述
HZ-960 是堀场面向半导体、液晶及玻璃制造湿法工艺开发的在线式溶解臭氧浓度监测设备，由变送器主机搭配 ZH 系列管路式检测器组成，采用紫外吸收法实现纯水体系内臭氧浓度连续在线检测。设备可覆盖从低浓度到最高 500mg/L 的宽量程区间，适配晶圆清洗、光刻胶剥离、CMP 后清洗等前沿制程，能够实时稳定监控臭氧水浓度，保障清洗工艺一致性，降低产品不良率。整机接触药液部位采用 PFA、PTFE、石英玻璃等高耐腐材质，可直接串联在工艺管路中，无需取样离线化验，实时反馈工艺状态。
工作原理
仪器基于紫外分光吸收原理，臭氧分子对特定紫外波段光线具备特征吸收特性。管路内的臭氧水流通过石英检测池，紫外光源发射固定波长光束穿过水样，水样中溶解臭氧分子吸收部分紫外光。光电检测器采集透射后的光强，依据朗伯‑比尔定律，光的衰减程度与臭氧浓度呈对应关系，内部电路运算后换算出实时溶解臭氧浓度值。变送器接收检测器信号，完成信号处理、数据显示与对外输出。设备自带自诊断功能，可监测光源、信号异常，同时支持远程校准，无需停机拆解。
核心技术参数
产品构成：96 型面板安装变送器 + ZH 系列管路检测器（ZH-10/ZH-40/ZH-100/ZH-500）
测量对象：纯水中溶解臭氧
测量量程：0~10mg/L、0~40mg/L、0~100mg/L、0~500mg/L 多量程可选
测量重现性：满量程 ±0.2%
检测器液接材质：PFA、PTFE、石英玻璃
管路接口规格：1/2 英寸、3/4 英寸、1 英寸可选
液体温度：ZH-10/ZH-100：5~30℃；ZH-40/ZH-500：5~80℃
变送器供电：DC24V±10%，功耗 15W
变送器防护：面板正面 IP65，后部 IP20
变送器外形：96×96×115mm，重量约 550g；检测器约 2kg
输出信号：模拟信号、数字通讯，可对接 PLC 控制系统
合规标准：CE 认证，符合 EMC 指令
产品核心优势
宽量程覆盖，多检测器可选：提供 4 种检测器模块，从低浓度清洗工艺至高浓度臭氧水制程均可匹配，根据产线工艺灵活选型，无需更换整套仪表。
高耐化学腐蚀结构：液体接触部件全部选用 PFA、PTFE、石英材质，耐受强氧化性臭氧水，不会析出杂质污染超纯水管路，适配半导体高洁净工艺。
在线不间断监测：直接串联工艺管道，实时连续采集浓度，摒弃人工取样检测带来的时间滞后与样品损耗，便于闭环控制臭氧制备系统。
优异测量稳定性：重现性可达满量程 ±0.2%，微小浓度波动也可精准捕捉，稳定控制清洗工艺参数，提升晶圆良率。
远程校准 + 自诊断：支持外部信号远程触发校准，设备实时自检，光源异常、信号故障自动报警，方便工厂维护管理，减少停机时间。
灵活管路适配：多种管径接口可选，适配不同流量工艺管线，流量适配范围广，现场管路改造难度低。
标准面板安装：96×96 标准面板尺寸，控制柜开孔即可直接嵌入，节省控制箱空间，布线集成便捷。
主要应用场景
半导体晶圆湿法清洗工艺、CMP 后清洗、前端制程清洗、光刻胶剥离臭氧水监测；液晶面板、玻璃基板清洗制程；超纯水系统臭氧杀菌浓度管控；精密电子零件氧化清洗工艺；科研臭氧水工艺开发验证。
使用与维护注意事项
仅适用于纯水体系溶解臭氧检测，若含有大量其他紫外吸收杂质，会干扰测量结果，需提前评估水样基体。
安装时管路尽量减少气泡产生，气泡进入石英检测池会造成紫外光散射，引起读数波动。
石英窗口需定期检查清洁，避免有机物、颗粒物附着，影响透光，降低测量精度。
紫外光源属于消耗件，光源老化会降低光强，当测量重现性变差时，检查光源状态，按需更换。
设备液路为强氧化工况，停机后需按规范对管路冲洗，防止残留臭氧长期腐蚀密封件。
变送器安装在控制柜内，避免正面喷淋，后部端子做好防尘防护，远离强电磁干扰线缆。
定期执行标准校准，保障长期测量精度；出现报警优先查看自诊断代码定位故障。
高斯摩(成都)国际贸易目前公司是国内西南部最大型的MRO供应公司，优势品牌：CCS 晰写速、SEN 日森、EYE 岩崎、USHIO 牛尾、FUNATECH 船越龙、HIKARIYA 光屋、SERIC 索莱克、REVOX 莱宝克斯、Nidec 尼得科、ORIHARA 折原、SONIC 索尼克、YUASA 尤安萨、EYELA 东京理化、SANKO 三高、NEWKON 新光、HEIDON 新东科学、SIBATA 柴田科学、TAKASAGO 高沙、MITUTOYO 三丰、JIKCO 吉高、NPM 日脉、AND 艾安得、TOSEI 东精、ONOSOKKI 小野、PISCO 碧铄科、TOPCON 拓普康、NDK 电波工业、STANLEY 史丹利、HIOS 好握速、SATA 世达、HAKKO 白光、TOHNICHI 东日、NITTO KOHKI 日东工器、TAISEI 大生、MAGNESCale 索尼、KOSME 考世美、OPTEX 奥普士、ORC 欧阿希、RKC、RION 理音、OHM、KYOWA 共和、YAMADA 山田光学、ASKER、NSK、NBK、FREEBEAR、CHINO 千野、COPAL 科宝、AMANO 安满能、HORIBA 堀场、DELVO 达威、TOMOE、SUMICO 住矿、SATO、CKD 喜开理、IMAO 今尾、MASUDA 增田、KETT 凯特、MARUYAMA 丸山、MARUI KEIKI 丸井计器、KONSE 近职、TOYO、OSAKA、KAKUTA 角田、FUJI 富士、NAGANO KEIKI 长野计器、HIOKI 日置、OSAWA 大泽、TOKYO KEIKI 东京计器、ACCRETECH 东京精密、ACE GIKEN 技研、ADCMT 爱德万、ADVANTEC 东洋、AICHITOKEI 爱知时计、AirTAC 亚德客、AITEC 艾泰克、AMADA 天田、ANRITSU 安立计器、ARIMITSU 有光、ASAHI 旭产业、ASONE 亚速旺、SUGIYAMA 杉山电机、TAMAGAWA 多摩川、TRUSCO 中山、ATAGO 爱拓、AZBIL 山武、CEDAR 思达、CEMEDINE 施敏打硬、CHELIC 气立可、CONVUM 妙德、COSEL 科索、COSMOS 新宇宙、COSMO 科斯莫、CUSTOM 东洋、DAICO 大浩研热、DDK 东亚电波、DENSO 电装、DFAIC 东仪、DSK 电通产业、EIWA 荣和、ELECOM 宜丽客、EMIC 爱美克、ESCO 艾斯科、EXCEL 艾库斯、FANUC 发那科、ULVAC 爱发科、FUJIFILM 富士、FUJILATEX 不二精器、FUJISTAR 三共理化学、FUJI 不二空机、FUKUDA 福田电机、FUSOSEIKI 扶桑精机、GOEI 吴英制作所、GRAPHTEC 图技、HANNA 哈纳、HATAYA 烟屋、HAYASHI 林时计、HELLERMANNTYTON 海尔曼太通、HITACHI 日立、HOKUYO 北阳、HOYA、HRB 哈尔滨、HUGLE 藤宫、IDEC 和泉、IIJIMA 饭岛电子、IMADA 依梦达、IMV 艾目微、INFLIDGE 英富丽、ISEL 伊塞尔、ITOH 伊藤、IWAKI 易威奇、IZUMI 泉精器、JST 日压、UNIPULSE 优尼帕斯、UNITTA、KEM、SIGMAKOKI 西格玛光机、SAKAGUCHI 坂口电热