【高斯摩】日本 Yamato雅马拓 根式干式真空泵 MU300

MU300 为日本原装进口大流量罗茨式干式真空泵，采用无油干式罗茨转子结构，转子在泵体内非接触式运转，无需润滑油，彻底消除油雾污染，保障整套真空系统洁净无油污。流体结构经过优化设计，抽气速率大、抽真空响应速度快，整机结构紧凑，方便生产线与实验设备集成搭载。设备搭载多重保护机制，具备过载、超压、过热自动保护功能，长期连续运行稳定性优秀。转子经过高精度动平衡调校，运行震动低、噪音可控，支持全天候持续工况。标准 NW 快拆法兰接口，可灵活搭配前置过滤器、冷凝冷阱、缓冲罐体等配套组件，广泛适配各类科研与工业洁净真空工艺。

最大抽气速率 5000L/min，极限压力 0.5Pa；电机总输出（2.2+2.2）kW，适配三相 AC200~220V 电源；进气接口 NW50，排气接口 NW25；整机外形尺寸 230×450×520mm；最大允许进气压力为大气压，最大排气背压控制在 3kPa 以内；适用工作环境温度区间 0℃～40℃。干式无油结构，无需定期加注与更换真空油，有效减少长期运维投入。

广泛应用于真空镀膜工艺、半导体研发制程、材料真空热处理、真空烧结、锂电池新材料制备、精密元器件真空封装、大中型科研高真空实验平台、成套工业真空机组配套等场景。适用于对真空洁净等级要求较高，需要大流量快速抽气，持续稳定获取中高真空环境的研发试验与工业化生产工况。

MU300 属于干式罗茨结构，泵体无需加注润滑油。若工况抽取含有粉尘、水汽、腐蚀性气体，进气前端必须安装精密过滤器、冷凝冷阱，避免杂质与凝液进入泵腔造成转子腐蚀、磨损。定期检查滤芯、管路法兰、密封垫圈，滤芯堵塞及时更换，老化密封配件及时替换，防止漏气导致抽气性能衰减。日常巡检设备运行噪音、震动、工作电流，实时监控机组运行状态。设备长期停机存放前，通入干燥惰性气体充分吹扫泵腔，降低介质残留引发腐蚀风险。运行期间出现异响、剧烈震动、真空度大幅下滑时，请勿私自拆机，联系专业技术人员检修，防止转子出现永久性损伤。