【高斯摩】日本 Yamato雅马拓 根式干式真空泵 MU100

MU100 为日本原装进口罗茨式干式真空泵，采用无油干式罗茨转子结构，泵体内部非接触式运转，全程无需润滑油，从根本杜绝油雾污染问题，保障真空系统洁净。设备经过流体结构优化，兼具大抽速与节能特性，机身紧凑小巧，占地面积小，便于产线设备集成。内置完善监控与保护功能，具备过载、异常压力、过热保护机制，运行稳定性强。转子动平衡调校精良，运行震动控制良好，支持长时间连续工况运转。标准法兰接口设计，可灵活搭配前置除尘过滤器、冷阱、缓冲罐等配套组件，适配各类中高真空工业与科研工艺，是洁净真空工况优选设备。

最大抽气速率 1660L/min，极限到达压力 1.5Pa；电机功率 2.2kW，适用三相 AC200~220V 电源；进气接口 NW50，排气接口 NW25；整机外形尺寸 230×450×275mm，设备自重 60kg；允许进气压力为大气压，最大排气背压需控制在 3kPa 以内；适用工作环境温度区间 0℃～40℃。干式无油结构设计，不需要定期加注、更换真空油，有效降低长期运维成本。

广泛应用于真空镀膜、半导体工艺配套、材料热处理、真空烧结、科研高真空实验、锂电池材料制备、精密器件真空封装、中小型工业成套真空设备集成等场景。适合对真空洁净度要求高，需要大流量快速抽真空、持续稳定获得中高真空环境的工业生产与研发试验工况。

MU100 为干式罗茨结构，无需添加润滑油。使用工况含有粉尘、水汽、腐蚀性工艺气体时，进气前端必须配备精密过滤器、冷凝冷阱装置，防止杂质、凝液进入泵体造成转子磨损、腐蚀。定期检查滤芯、管路密封法兰、密封圈等配件，滤芯堵塞及时更换，漏气密封件及时替换，避免抽气性能衰减。定期巡检设备震动、噪音、工作电流，判断机组运行状态。设备长期停机前，通入干燥惰性气体吹扫泵腔，防止内部介质残留腐蚀。设备运行过程中一旦出现异响、剧烈震动、真空度明显下降，请勿私自拆机拆解，联系专业技术人员检修，避免造成内部转子永久性损坏。