【高斯摩】日本原装 Yamato雅马拓 小型等离子体装置PM100

PM100 属于桌面桶式低频等离子改性装置，搭载石英透明反应腔体，依靠低频电源产生柔和低温等离子体。设备运行条件温和，对试样损伤极低，可利用空气或氧气作为工艺气体，操作简便，主打生物试样、微流控芯片、精密小型元件的表面清洗、活化、改性作业，是实验室基础等离子前处理优选机型。同系列包含高频型 PR200，可根据工艺侵蚀强度需求选型。

设备采用低频等离子发生方式，等离子体作用温和，适合 PDMS、生物材料等不耐强离子轰击的试样，有效避免基材开裂、性能劣化。桶式各向同性放电结构，腔体内部等离子分布均匀，样品全方位同步处理。石英腔体化学稳定性优异，不易析出杂质，保障样品洁净度。配备皮拉尼真空传感器实时监测腔体内压力，设置多级状态报警系统，对温度、真空度、等离子源异常进行监控。整体机身紧凑轻巧，无需复杂射频报备，配套简易气路调节阀门，可灵活调控工艺气体流量。运行噪音低、无剧烈振动，干式处理不产生废液，日常运维便捷。

适用于 PDMS 微流控芯片键合处理、生物玻璃基板表面活化、SEM/TEM 样品台有机污染物清洗、高分子材料粘接前表面改性、实验室器皿等离子灭菌、薄膜耐候加速老化试验。广泛服务高校生物实验室、微纳加工实验室、材料研发单位、第三方分析检测机构。

设备放置区域保持通风，配套适配规格真空泵与供气管路，管路连接处做好密封防止漏气。定期清洁石英腔体内壁沉积物，禁止硬质工具刮擦腔体；定期检查门体密封圈老化情况。按时校验真空监测组件，保障工艺重复性。处理易挥发有机样品建议配套尾气收集装置。设备出现起辉异常、压力报警时，请勿私自拆解维修，请联系专业人员检修。