【高斯摩】日本原装 Yamato雅马拓 小型等离子体装置PR200

PR200 为桶式 DP 模式射频等离子体处理设备，属于紧凑型桌面式等离子反应装置，配备高硼硅耐热玻璃反应腔体。依托 13.56MHz 射频电源产生低温等离子体，可在低温真空环境下完成样品灰化、表面清洗、刻蚀与材料表面改性等实验作业，整机体积小巧，适合实验室研发小批量试样处理，广泛用于样品前处理与新材料表面工艺探索。

设备搭载自动调谐匹配系统，无需人工复杂调节，等离子体起辉稳定，操作门槛低。射频输出功率可连续调节，适配多种材质样品，低温等离子工艺能够避免试样受热高温损伤，适用于热敏型样品处理。反应腔体采用透明玻璃结构，实验过程可直观观察样品反应状态；气路管路采用不锈钢与特氟龙材质，耐化学腐蚀，减少样品污染风险。系统集成真空监测、运行状态报警功能，实时监控腔体压力、等离子体工作状态。设备占地空间小，对实验室场地要求低，配套标准样品支架，可同时放置多组试样开展平行试验，整套工艺属于干式处理，不产生废液，环保易操作。

适用于高分子材料表面活化改性、电子元器件有机污染物干式清洗、地质与环境样品低温等离子灰化、薄膜材料微刻蚀、生物样品前处理、半导体小样粘接性能改良试验。广泛服务高校科研实验室、第三方检测机构、新材料研发企业、电子研发实验室。

设备安置区域保持通风，配套真空泵与氧气供气系统，管线连接牢固无漏气。定期清洁玻璃腔体内部沉积物，防止附着物影响等离子均匀性；避免硬质物件刮擦玻璃腔体内壁。定期检查密封垫圈老化情况，按时校验真空监测组件。设备运行时遵循射频设备安全规范。出现起辉异常、压力报警等故障，请勿自行拆解维修，联系专业人员检修。