ALD(沉积)设备是利用原子层沉积形成纳米级薄膜的设备。由于薄膜是按原子逐层形成的,因此具有精确的膜厚可控性和精确的阶梯涂布性能。但缺点是成膜速度慢。ALD成膜中使用了许多有机金属材料,但其中许多材料对人体有负面影响,并且高度易燃。处理需要专业知识和极其小心。ALD设备的应用ALD设备常用于半导体生产工艺、FPD生产工艺等。近年来,这项技术已成为DRAM生产中的一部分。以下是使用ALD装置形成的
2025-04-16 admin 14
电子束光刻设备是半导体光掩模生产中利用电子束在光掩模毛坯(以下简称毛坯)上绘制电路图形的设备。在存储器、CPU等LSI的制造中,将分割为数十层的光掩模作为母板,使用曝光装置将光掩模上的图案转印到晶圆上来制作电路。光掩模的质量对LSI良率影响最大。因此,在光掩模上绘制图案的电子束光刻设备可以说是LSI制造中最重要的设备之一。电子束光刻设备的应用电子束光刻设备用于在制造光掩模以及制造 MEMS 等纳
2025-04-16 admin 20
步进曝光机是一种用于光刻(半导体和液晶制造工艺)的投射曝光设备。随着IC电路图案的小型化,制作全尺寸光掩模图案变得困难。这是指在对大于实际尺寸的掩模图案进行缩小投影曝光时进行分步重复曝光的曝光设备步进机是一种曝光设备,通过执行步进和重复来曝光整个待曝光区域。步进机的使用步进机用于半导体和液晶的制造,特别是用于光刻过程中使用掩模的曝光处理。步进法包括步进重复法和步进重复法,其中,由于一次可以转移的
2025-04-16 admin 16
半导体清洗设备是清洗工艺中使用的设备的总称,是半导体制造工艺之一。清洗工艺是重要工艺,占整个半导体制造工艺的30-40%。在高温处理工序或薄膜形成工序之前,有作为前工序的清洗,除去污垢;在除去氧化物和薄膜的蚀刻工序之后,有作为后工序的清洗,除去抗蚀剂残渣。半导体清洗设备大致分为使用化学品和纯水的湿式清洗设备和不使用化学品的干式清洗设备。半导体清洗设备的应用半导体清洗设备用于半导体制造工厂的各种工
2025-04-16 admin 14
电阻焊机是一种用于焊接金属的机器。通过将待焊接区域固定在电极之间并在向金属通电的同时施加压力来焊接金属。由于利用了被焊接金属的电阻产生的焦耳热,因此根据电流的流动方式,有多种不同的类型,例如逆变器型、晶体管型和电容器型。另外,根据通电方式的不同,可分为直接点式、间接点式、串联点式、双点式。由于其结构,电阻焊机主要用于焊接金属板和管道等扁平物体。它可用于广泛的应用,例如汽车车身板和建筑钢框架。电阻
2025-04-16 admin 14
涂装设备是将化学品等涂敷到产品和材料上的设备。典型的涂布设备有辊涂机、旋涂机、浸涂机、喷涂机、点涂机等,根据被涂物的形状、被涂物的种类、涂膜的目的而采用各种涂敷方法。 。近年来,半导体制造、FPD(平板显示器)制造、太阳能电池和二次电池制造等工业领域对精确的镀膜精度提出了要求,因此随着镀膜技术的进步,镀膜设备也得到了显着的改进。涂装设备的应用涂装设备用于在半导体领域和二次电池等各种制造过程中将涂
2025-04-16 admin 21
轴承加热器是一种用于通过热装将轴承内圈固定到轴上的装置。热压配合是一种将轴承内圈与金属转轴连接的方法。这利用了金属受热时会膨胀的特性。通过加热轴承并增大内圈内径,可以将轴承内圈牢固地固定在轴上。轴承的热装可以通过在油浴中加热的油中加热轴承来完成,但是准备油浴需要时间和精力。使用燃烧器加热可能会产生局部高音调,并且不可避免地存在削弱轴承材料的风险。为了解决这些问题,轴承加热器一般采用电磁感应加热。
2025-04-16 admin 18
卧推机是一种在办公桌上使用的小型压力机。由于在桌面上使用,因此也称为台式压力机。将金属等被加工材料放置在压力机的模具之间,对材料施加强大的压力,使其变形为模具的形状并进行加工。它还用于粉末成型和填缝工艺,其中将金属粉末或化学粉末放入模具中并施加高压。由于其结构简单,易于维护,使用寿命长。施加压力的方法包括液压、气动、螺杆和曲柄方法。台式压力机的用途台式压力机用于生产现场,例如生产线和研发现场的装
2025-04-16 admin 10