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【高斯摩】ACCRETECH东京精密 全自动切块机ML3200

【高斯摩】ACCRETECH东京精密 全自动切块机ML3200【高斯摩】ACCRETECH东京精密 全自动切块机ML3200一、产品定位12 英寸全自动红外激光切割设备,采用内部聚焦加工技术,全程干式作业。加工无接触、损伤极低,适配超薄晶圆、高硬度材料及防水敏感元器件,多用于半导体、MEMS 器件的大批量高端量产。二、核心规格参数最大加工工件直径 300mm,采用红外激光加工模式。各轴运行速度快,

【高斯摩】ACCRETECH东京精密 全自动切块机ML3200

【高斯摩】ACCRETECH东京精密 全自动切块机ML3200


一、产品定位

12 英寸全自动红外激光切割设备,采用内部聚焦加工技术,全程干式作业。加工无接触、损伤极低,适配超薄晶圆、高硬度材料及防水敏感元器件,多用于半导体、MEMS 器件的大批量高端量产。

二、核心规格参数

最大加工工件直径 300mm,采用红外激光加工模式。各轴运行速度快,定位精度与控制分辨率表现出色。兼容多种主流加工工艺,使用三相工业电压供电。整机占地面积较大,重量约 3000kg。

三、产品特性

激光在工件内部形成改质层实现分离,表面无损伤、无崩边,不存在热影响区域,适配各类脆弱材质。全干式加工无需用水,可加工遇水易受损的工件。划片槽宽度小,能提升原材料利用率与小尺寸芯片成品良率。支持两种主流加工流程,适配不同产线工序。设备自动化程度高,运行速度快,产能突出。搭载智能操控系统,可存储多组工艺配方;模块化设计,日常检修与维护简单。

四、适用场景

适用于 12 英寸超薄晶圆、碳化硅、蓝宝石、陶瓷等硬脆材料切割,也可加工 MEMS 元件、各类微型芯片,广泛应用于先进半导体封装、精密电子制造领域。

五、整体配置

标配主机、红外激光发生装置、光学定位系统、自动上下料单元、触控操作面板、集尘装置、管线及使用手册。洁净单元、厚度检测模块、氮气辅助系统等可按需选配。

六、使用与选型要点

开机前检查电路、气路及光路系统,确认工况正常再运行。结合工件类型、尺寸切换对应加工工艺,调整运行参数。定期清理粉尘,检查激光组件与传动部件,按时完成保养。本机主打干式低损伤加工,适合对表面品质、工艺洁净度要求严苛的高端量产产线。


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