TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SET100系列
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SET100系列TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SET100系列产品概述SET100 为半导体高纯管路专用紧凑型压力变送器，适配 VMB、BSGS、气体柜工艺管路，主打低压真空、高纯惰性及弱腐蚀气体测量，一体式小型结构，适配狭小安装工位，整机符合半导体 UHP 高纯用气规范。核心优势高纯洁净制程本体采用 VIM+VAR 精炼 SUS316L 材质，电解抛
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SET100系列
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SET100系列
产品概述
SET100 为半导体高纯管路专用紧凑型压力变送器，适配 VMB、BSGS、气体柜工艺管路，主打低压真空、高纯惰性及弱腐蚀气体测量，一体式小型结构，适配狭小安装工位，整机符合半导体 UHP 高纯用气规范。
核心优势
高纯洁净制程
本体采用 VIM+VAR 精炼 SUS316L 材质，电解抛光处理，低死腔、超低氦泄漏率，适配高纯氧气、氮气、氩气、硅烷、氨气等工艺介质，无金属离子析出污染介质。
工况适配性强
覆盖负压真空至常规中低压全量程，抗管路压力波动，内置温度补偿模块，温漂可控，长期运行测量稳定。
安装运维简便
标配 1/4 英寸标准 VCR 接口，管路对接通用；支持现场一键零点校准，免拆机维护，接线简易适配工控系统。
工业防护耐用
密封结构稳固，抗轻微震动，适配车间常规工况，非防爆安全区专用，适配半导体车间 2 区用气环境。
完整技术参数
压力量程：-0.1~0.5MPa、0~0.5MPa、0~1MPa（表压）耐压等级：额定压力 2 倍供电规格：DC 15~24V信号输出：4-20mA 两线制、1-5V/0-10V 三线制测量精度：标准款 ±0.3% FS温度漂移：±0.05% FS/℃补偿温度：0~60℃响应速度：≤80ms接液材质：SUS316L EP 电解抛光连接接口：1/4 英寸 VCR 标准接口工作温度：0~75℃防护等级：IP54整机重量：约 160g防爆属性：非防爆，仅限安全 2 区使用
型号释义（示例：SET100-V420-05）
SET100：产品系列V：VCR 标准接口420：4-20mA 信号输出05：量程 0~0.5MPa
适用场景
半导体集成气路、阀组箱、气瓶稳压管路；光伏面板工艺供气系统；工厂大宗高纯气体输送稳压监测。
使用须知
仅限非爆炸安全区域使用，不可用于 0/1 防爆区
适配惰性、弱腐蚀工艺气体，强腐蚀介质需更换防腐系列
规范紧固 VCR 接头，防止漏气影响测量精度
禁止超压、超温长期运行，保护内部传感芯体