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TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SE4000系列

TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SE4000系列TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SE4000系列产品简介SE4000 为全 PFA 流通式压力变送器,延续非金属防腐设计,采用无金属、无密封圈结构,无死区流道,可适配含颗粒浆料、强腐蚀药液与腐蚀性工艺气体,多用于半导体、精细化工非防爆区域。核心特点全 PFA 接液,极致防腐洁净接液部件一体成型,全程无金属、无 O 型圈,不会产生金属离子析

TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SE4000系列

TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SE4000系列




产品简介

SE4000 为全 PFA 流通式压力变送器,延续非金属防腐设计,采用无金属、无密封圈结构,无死区流道,可适配含颗粒浆料、强腐蚀药液与腐蚀性工艺气体,多用于半导体、精细化工非防爆区域。

核心特点

  1. 全 PFA 接液,极致防腐洁净接液部件一体成型,全程无金属、无 O 型圈,不会产生金属离子析出,可长期耐受强酸、强碱、有机溶剂以及氯气、氯化氢、氟化氢等强腐蚀介质。
  2. 流通式结构,适配复杂介质直通流道设计,内部无滞留腔体,不易积料堵塞,适合 CMP 研磨浆料、高粘度流体等含颗粒介质测量。
  3. 性能稳定,适配现场工况内置陶瓷传感芯体,抗介质冲刷、耐疲劳;整体密封可靠,泄漏量低,满足半导体高洁净使用标准。
  4. 款式灵活,可选现场显示分为普通款与一体式数显款,显示屏可多角度调节,现场可直读数据,安装与观测都较为便捷。
  5. 防护可靠,适用范围广整机防护等级 IP65,防尘防水;为非防爆设计,仅适用于 2 区常规安全环境。

技术参数

压力参数

测量量程(表压):0~0.3MPa、0~0.5MPa、0~1MPa耐压能力:0.3MPa、0.5MPa 量程耐压 0.75MPa;1MPa 量程耐压 1.25MPa

电气参数

供电电压:DC 15~24V±10%信号输出:4-20mA 两线制,0-5V、1-5V、0-10V 三线制绝缘电阻:≥100MΩ(DC500V)

性能指标

综合精度:±1.0% FS温度漂移:±0.5% FS/℃温度补偿范围:0~50℃响应时间:<10ms

机械与环境参数

接液材质:PFA接口规格:支持 PFA 扩口、软管、标准化工管件等多种连接形式工作温度:-10~60℃防护等级:IP65防爆等级:非防爆(2 区使用)

应用场景

  1. 半导体行业:CMP 研磨液管路、强腐蚀化学品输送、高纯腐蚀性气体、超纯水系统

  2. 精细化工:强酸、强碱、有机溶剂等腐蚀性流体压力监测

  3. 光伏、医药行业:高洁净腐蚀介质、无菌药液管线压力检测

同系列区分

SE3000:常规腔体式结构,侧重纯气体、洁净药液测量,不适合含颗粒介质SE4000:直通流通结构,无死区,主打含颗粒浆料、高粘度流体,通用性更强

使用注意事项

  1. 本产品为非防爆型,禁止在 0 区、1 区爆炸性气体环境中使用。

  2. 工作介质温度不可超过 60℃,避免 PFA 材质受热变形、性能下降。

  3. 搭配同材质 PFA 管件安装,保证接口密封,防止介质泄漏。

  4. 避免长期承受高压冲击,防止隔膜与传感部件受损。


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