TEM-TECH HYZ6800系列 工艺气体压力传感器
TEM-TECH HYZ6800系列 工艺气体压力传感器TEM-TECH HYZ6800系列 工艺气体压力传感器产品定位HYZ6800 是 TEM-TECH 面向半导体 / 光伏高腐蚀、高纯特种气体场景开发的紧凑型、高耐腐蚀、一体式压力变送器。核心优势是哈氏合金隔膜，适配强腐蚀气体（如 Cl₂、HCl、HF、SiH₄ 等），同时保持高精度与高稳定性。核心特点高耐腐蚀哈氏合金隔膜接液隔膜：Haste
TEM-TECH HYZ6800系列 工艺气体压力传感器
TEM-TECH HYZ6800系列 工艺气体压力传感器
产品定位
HYZ6800 是 TEM-TECH 面向半导体 / 光伏高腐蚀、高纯特种气体场景开发的紧凑型、高耐腐蚀、一体式压力变送器。核心优势是哈氏合金隔膜，适配强腐蚀气体（如 Cl₂、HCl、HF、SiH₄ 等），同时保持高精度与高稳定性。
核心特点
- 高耐腐蚀哈氏合金隔膜
接液隔膜：Hastelloy C-22，抗 Cl₂、HCl、HF、NH₃ 等强腐蚀气体。
本体：SUS316L（VIM+VAR），EP 抛光 Ra<0.18μm（SEMI F19）。
全焊接密封，无填充液，氦检漏率≤5×10⁻¹² Pa・m³/s。
- 紧凑型一体式结构，适配狭小空间
体积小、重量轻，直装 VMB、气瓶柜、IGS 面板。
自带4 位点阵 LCD，270° 旋转显示，读数无死角。
电缆可拆式设计，维护便捷。
- 高精度与超低温度漂移
综合精度：±0.2%FS（含线性、迟滞、重复性）。
温漂：±0.02%FS/℃（25℃基准），补偿范围 0~50℃。
内置 ASIC 数字校正，长期稳定性强。
- 宽量程覆盖（含高压）
标准量程：-0.1~0.5MPa、0~1MPa、0~2MPa、0~3.5MPa、0~5MPa。
高压量程：0~20MPa、25MPa、35MPa。
耐压：2×FS（≤20MPa）；1.5×FS（>20MPa）。
- 丰富输出与报警功能
模拟输出：4–20mA（2 线）、1–5V/0–10V（3 线）。
报警：2 路开集电极输出（NPN/PNP 可选），可编程上下限与迟滞。
一键零点校准（AUTO ZERO），现场免工具维护。
技术参数
压力规格
量程（表压）：-0.1~0.5MPa、0~1MPa、0~2MPa、0~3.5MPa、0~5MPa、0~20MPa、25MPa、35MPa
耐压：2×FS（≤20MPa）、1.5×FS（>20MPa）
过压保护：内置限位
电气规格
供电：DC 24V±10%
输出：4–20mA（2 线）、1–5V/0–10V（3 线）
报警：2 路开集电极输出（NPN/PNP 可选）
绝缘：≥100MΩ@DC500V
响应时间：<5ms
性能指标
综合精度：±0.2%FS
温漂：±0.02%FS/℃（0~50℃补偿）
显示：4 位点阵 LCD，270° 旋转
机械与材质
隔膜：Hastelloy C-22
本体：SUS316L（VIM+VAR）
接口：1.125” W/C 密封（IGS）、1/4” VCR/UJR（可选）
防护：IP54
重量：约 350g
环境参数
工作温度：-20~70℃（无冷凝）
补偿温度：0~50℃
型号编码（示例：HYZFZWS2-6801TS420NTP）
HYZF：高耐腐蚀数显系列
Z：旋转显示
W：W 密封（C=C 密封）
S2：输出 / 报警配置
6801：系列代号
TS：量程代码
420：4–20mA 输出
NTP：接头 / 封装选项
典型应用
半导体：强腐蚀特种气体（Cl₂、HCl、HF、NH₃、SiH₄）、VMB 阀组、IGS 面板、气瓶柜
光伏 / 面板：腐蚀性工艺气体管路、高纯气体监测
工业气体：高纯 / 腐蚀性气体中高压输送、加氢站