TEM-TECH HYZ6700系列 工艺气体压力传感器
TEM-TECH HYP6700系列 工艺气体压力传感器TEM-TECH HYP6700系列 工艺气体压力传感器产品简介HYP6700 为一体式面板数显压力变送器，专为半导体 IGS 集成气体面板、VMB 阀组箱设计，集成显示、校准、报警功能，适配高纯及常规特种工艺气体压力监测，现场安装与读数便捷。核心特点一体式结构搭配 270° 可旋转显示屏，任意安装角度均可直视读数，无需外接二次仪表。接液部件
TEM-TECH HYZ6700系列 工艺气体压力传感器
TEM-TECH HYZ6700系列 工艺气体压力传感器
一、核心定位
HYZ6700 是 TEM-TECH HYZ 高腐蚀系列的中低压一体式数显型，专为半导体 IGS 集成气体面板、VMB 阀组箱、气瓶柜设计；接液为哈氏合金 C-22+316L，兼顾高纯与弱腐蚀气体，是 HYP6700（316L）的耐腐蚀升级版。
二、关键特点
高耐腐蚀接液
隔膜：Hastelloy C-22，耐 Cl₂、HCl、HF、NH₃ 等弱 / 中腐蚀气体。
本体：SUS316L（VIM+VAR），EP 抛光 Ra<0.18μm，符合 SEMI F19。
全焊接无填充液，氦检漏率 ≤5×10⁻¹² Pa・m³/s。
一体式面板直装，270° 旋转显示
标准 1.125” W/C 密封，直接替代 HYP6700 安装位。
4 位点阵 LCD，270° 旋转，任意角度可读。
电缆可拆，维护方便；IP54 防护。
高精度、低温漂
综合精度：±0.2%FS（线性 + 迟滞 + 重复性）。
温漂：±0.02%FS/℃（0~50℃补偿）。
内置 ASIC 数字校正，长期稳定。
中低压量程 + 丰富输出 / 报警
量程以中低压为主，覆盖真空至 3.5MPa。
输出：4–20mA（2 线）、1–5V/0–10V（3 线）。
报警：2 路开集电极（NPN/PNP），可编程上下限。
一键零点校准（AUTO ZERO）。
三、技术参数
量程（表压）：-0.1~0.5MPa、0~1MPa、0~2MPa、0~3.5MPa
耐压：2×FS；过压保护内置
精度：±0.2%FS；温漂：±0.02%FS/℃
供电：DC 24V±10%；响应时间：<5ms
接液材质：隔膜 Hastelloy C-22，本体 SUS316L
接口：1.125” W/C 密封（IGS）；可选 1/4” VCR/UJR
工作温度：-20~70℃（无冷凝）；补偿温度：0~50℃
重量：约 450g
四、型号示例（HYZFZWS2-6700TS420NTP）
HYZF：高腐蚀数显系列
Z：270° 旋转显示
W：W 密封（C=C 密封）
S2：输出 / 报警配置
6700：系列代号
TS：量程代码
420：4–20mA 输出
NTP：接头 / 封装选项
五、典型应用
半导体：高纯 / 弱腐蚀工艺气体（如 NH₃、SiH₄、HCl 低浓度）、IGS 面板、VMB、气瓶柜。
光伏 / 面板：腐蚀性工艺气体管路、高纯气体监测。
工业气体：高纯氮、氧、氢、氩及弱腐蚀气体输送。