TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SE1000
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SE1000TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SE1000产品简介SE1000 为绝压型变送器，专注真空至常压区间测量，体积小巧、性价比高，适用于半导体、光伏等行业真空腔体与高纯气体低压管路监测。核心特点主打真空、绝压测量，量程覆盖高真空到常压区间，专为低压工况设计。接液部件采用 SUS316L 材质，表面电解抛光，洁净度达标，泄漏量低，适配高纯惰性气体。
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SE1000
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 SE1000
产品简介
SE1000 为绝压型变送器，专注真空至常压区间测量，体积小巧、性价比高，适用于半导体、光伏等行业真空腔体与高纯气体低压管路监测。
核心特点
主打真空、绝压测量，量程覆盖高真空到常压区间，专为低压工况设计。
接液部件采用 SUS316L 材质，表面电解抛光，洁净度达标，泄漏量低，适配高纯惰性气体。
标配 1/4 英寸 VCR 接口，也可选用 UJR 接口，多种接头样式可选，便于管路集成安装。
测量精度稳定，温度漂移小，长期运行可靠，符合相关行业合规标准。
支持多种信号输出，供电范围宽，功耗低，适配现场常规供电系统。
技术参数
压力量程（绝压）
0~50kPaA、0~100kPaA、0~200kPaA；对应托耳量程：0~375Torr、0~760Torr、0~1000Torr
电气参数
供电电压：DC 15~24V信号输出：4-20mA 两线制、1-5V 三线制、0-10V 三线制绝缘电阻：≥100MΩ（DC500V）
性能指标
综合精度：标准款 ±0.3% FS，基础款 ±0.5% FS温度漂移：±0.05% FS/℃（补偿区间 0~60℃）响应时间：≤100ms安全耐压：额定压力的 2 倍
机械与环境参数
接液材质：SUS316L连接接口：1/4 英寸 VCR（标准）、UJR，可选固定 / 旋转公头、母头工作温度：0~80℃温度补偿范围：0~60℃防护等级：IP54整机重量：约 180g
型号编码说明（示例：SE1000-SMV-420T1）
SE1000：产品系列S：标准传感器款式M：VCR 接口，U 代表 UJR 接口420：4-20mA 输出，105 代表 1-5V 输出T1：量程 0~760Torr；T2：量程 0~1000Torr
应用场景
半导体设备：真空传输腔、负载锁腔、各类工艺真空腔体、气体分配管路
光伏、显示面板生产线：真空镀膜、沉积设备真空压力监测
通用工业：高纯气体低压管路、真空系统压力检测
使用注意事项
该型号为绝压传感器，不适用于中高压表压测量场景。
仅适配惰性、无强腐蚀性气体，腐蚀介质需选用对应防腐系列产品。
安装时规范拧紧接口，避免密封不良造成漏气，影响测量精度。
避免设备长期处于超温、强震动环境，延长使用寿命。