TEM-TECH 工艺气体压力传感器 HYZF系列
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 HYZF系列TEM-TECH 工艺气体压力传感器 HYZF系列产品定位HYZF 系列是腾泰克高精度 + 面板集成 + 带显示的三合一特气变送器，为HYZ 高精度系列与HYPF 面板系列的融合款，主打半导体 IGS/VMB、高纯 / 腐蚀性气体、高精度现场显示场景，是目前 TEM-TECH 面板型中精度最高的型号。核心特点高精度 + 强耐腐蚀（双核心）综合精度：
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 HYZF系列
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 HYZF系列
产品定位
HYZF 系列是腾泰克高精度 + 面板集成 + 带显示的三合一特气变送器，为HYZ 高精度系列与HYPF 面板系列的融合款，主打半导体 IGS/VMB、高纯 / 腐蚀性气体、高精度现场显示场景，是目前 TEM-TECH 面板型中精度最高的型号。
核心特点
- 高精度 + 强耐腐蚀（双核心）
综合精度：±0.2%FS（同 HYZ，优于 HYPF 的 ±0.3% FS）
接液部：哈氏合金 C-22 隔膜 + SUS316L 本体，耐受 Cl₂、HCl 等强腐蚀特气
零点温漂：±0.02%FS/℃（0~60℃），长期稳定性强
- 面板专用 + 超低死区
适配1.125” 标准气体面板（IGS/VMB），接口为W-Seal/C-Seal（面板专用密封）
死区容积：最小 0.67cm³，低压降、置换快，适配高纯气体快速切换
- 一体数显 + 270° 旋转 + 报警输出
集成4 位点阵显示，现场直接读数，无需二次仪表
显示头270° 旋转，任意安装方向可视
内置2 路开集电极报警（高低压可设），支持 NPN/PNP
- 干式无充液 + 高洁净
干式结构，无硅油污染，适配超高纯气体
电解抛光 EP（Ra<0.18μm），符合 SEMI F19；氦检泄漏率 **<5×10⁻¹² Pa・m³/s**
- 宽温补偿 + 小巧易安装
温度补偿：0℃~60℃；介质温度最高120℃
体积紧凑，重量约220g，适配气瓶柜、VMB 狭小空间
技术参数
压力量程（表压 / 真空复合）
标准：0~0.5、1MPa；真空复合：-0.1~0.5/1MPa
高压：可定制0~2、3.5MPa（面板常用）
电气规格
供电：DC 24V±10%（15~30V 兼容）
输出：4–20mA 两线制（标准）、1–5V、0–10V
报警：2 路开集电极（可设高低压，迟滞 0~99 位）
功耗：≤0.5W
性能指标
综合精度：±0.2%FS（线性 + 滞后 + 重复性）
温度漂移：±0.02%FS/℃（0~60℃）
响应时间：≤100ms
耐压：2×FS（额定压力 2 倍）
机械与环境
接液材质：哈氏合金 C-22（隔膜）、SUS316L（本体）
接口：1.125” W-Seal（标准）/C-Seal
防护等级：IP55（室内）
重量：约 220g
型号命名（示例：HYZFZW-420XS2）
HYZF：高精度面板系列
Z：带数显（无 Z = 无显示）
W：W-Seal 接口（C=C-Seal）
420：4–20mA 输出（105=1–5V）
X：外置放大器
S2：量程 0~1MPa（S1=0~0.5MPa）
典型应用
半导体：IGS 集成气体面板、VMB、气瓶柜、蚀刻 / 沉积设备（腐蚀性特气 + 高精度 + 现场显示）
光伏 / 面板：超高纯腐蚀性气体分配系统（微量波动管控）
制药 / 精细化工：高纯 / 腐蚀性气体的高精度压力监测（需现场读数）