TEM-TECH 工艺气体压力传感器 HYZ系列
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 HYZ系列TEM-TECH 工艺气体压力传感器 HYZ系列产品定位HYZ 系列是 TEM-TECH（腾泰克）高纯 / 腐蚀性气体专用的高精度智能压力变送器，为 HYW 系列的高精度升级款，主打半导体特气、超高纯气体、高精度压力管控场景，综合精度与温漂性能显著优于标准款 HYW。核心特点超高精度（核心优势）综合精度：±0.2%FS（线性 + 滞后 + 重复性）内
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 HYZ系列
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 HYZ系列
产品定位
HYZ 系列是 TEM-TECH（腾泰克）高纯 / 腐蚀性气体专用的高精度智能压力变送器，为 HYW 系列的高精度升级款，主打半导体特气、超高纯气体、高精度压力管控场景，综合精度与温漂性能显著优于标准款 HYW。
核心特点
超高精度（核心优势）
综合精度：±0.2%FS（线性 + 滞后 + 重复性）
内置专用 ASIC 与温度传感器，零点温漂低至 ±0.02% FS/℃（25℃基准），长期稳定性极强
高洁净强耐腐蚀
接液部件：哈氏合金 C-22 隔膜 + SUS316L 本体，耐受 Cl₂、HCl、NH₃等强腐蚀气体
表面电解抛光（Ra<0.18μm），符合 SEMI F19 标准，适配超高纯气体
干式无充液 + 低泄漏
无硅油填充，零污染高纯气体；氦检泄漏率 **<5×10⁻¹² Pa・m³/s**
宽温补偿 + 现场校准
温度补偿范围：0℃~50℃；介质温度最高120℃（短时可达 150℃）
支持现场零点微调，适配工况校准需求
小型化 + 防爆可选
体积小巧（Φ25×80mm），适配 VMB、气瓶柜狭小空间
可选本安防爆（Exia IICT4X），适配防爆区域
技术参数
压力量程（表压 / 真空复合）
标准：0~0.5、1、2、3.5、5MPa
高压：0~20、25、35MPa
真空复合：-0.1~0.5/1/2/3.5/5MPa
电气规格
供电：DC 24V±10%（兼容 12~30V）
输出：4–20mA 两线制、1–5V 三线制
功耗：≤0.5W
性能指标
综合精度：±0.2%FS
温度漂移：±0.02%FS/℃（0~50℃）
响应时间：≤100ms
耐压：2×FS（≤20MPa）；1.5×FS（>20MPa）
机械与环境
接液材质：哈氏合金 C-22（隔膜）、SUS316L（本体）
接口：1/4" VCR（标准），可选 UJR、3/8"、1/2"
防护等级：IP65
重量：约 150g
型号命名（示例：HYZSNV-420XC1）
HYZ：高精度系列
S：单端结构（T = 直通）
N：固定公头（F = 旋转母头）
V：VCR 接口（U=UJR）
420：4–20mA 输出（105=1–5V）
X：外置放大器
C1：1/4" 规格
典型应用
半导体：特气管道、VMB、气瓶柜、蚀刻 / 沉积设备（高精度压力监控）
光伏 / 面板：超高纯气体分配系统（微量压力波动管控）
精细化工 / 制药：腐蚀性气体、高纯流体的高精度压力测量
防爆区域：本安防爆款适配0 区 / 1 区危险环境