TEM-TECH 工艺气体压力传感器 ARK系列
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 ARK系列TEM-TECH 工艺气体压力传感器 ARK系列产品定位ARK 系列（也称 ARH 系列）是腾泰克专为高温流体 / 工艺气体设计的压力变送器，可测 ** 最高 150℃** 介质，兼顾高纯、耐腐蚀与高压，主打汽化 / 灭菌 / 超临界等高温暖通场景。核心特点耐高温（核心优势）介质温度：-40℃ ～ 150℃（长期 120℃，短时 150℃）适配汽化器
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 ARK系列
TEM-TECH 工艺气体压力传感器 ARK系列
产品定位
ARK 系列（也称 ARH 系列）是腾泰克专为高温流体 / 工艺气体设计的压力变送器，可测 ** 最高 150℃** 介质，兼顾高纯、耐腐蚀与高压，主打汽化 / 灭菌 / 超临界等高温暖通场景。
核心特点
耐高温（核心优势）
介质温度：-40℃ ～ 150℃（长期 120℃，短时 150℃）
适配汽化器、灭菌装置、超临界设备等高温工况
高洁净强耐腐蚀
隔膜：哈氏合金 C-22；本体：SUS316L
适配 Cl₂、HCl、NH₃等腐蚀性气体，符合 SEMI F19
干式无充液
无硅油，零污染高纯气体，适配半导体 / 光伏 / 制药
高压稳定 + 现场校准
量程至35MPa，过载能力强；支持现场零点微调
低泄漏
氦检泄漏率：<5×10⁻¹² Pa·m³/s，满足超高纯密封
技术参数
压力量程（表压 / 真空复合）
标准：0～0.5、1、2、3.5MPa
高压：0～20、25、35MPa
真空：-0.1～0.5/1/2/3.5MPa
电气规格
供电：DC 24V±10%
输出：4–20mA DC（3 线，外置放大器）、1–5V DC
功耗：≤0.5W
性能指标
综合精度：±1.0%FS（线性 + 滞后 + 重复性）
温度漂移：±0.05% FS/℃（0–60℃）
响应时间：≤100ms
机械与环境
接液材质：哈氏合金 C-22（隔膜）、SUS316L（本体）
接口：1/4" VCR（标准），可选 UJR、Swagelok
防护等级：IP55（室内）
重量：约 150g
型号命名（示例：ARKSZU‑42XPC1）
ARK：系列
S：单端（T = 直通）
Z：高温型
U：UJR 接口（V=VCR、F=Swagelok）
42：4–20mA 输出
X：外置放大器
P：引线式（T = 航空接头）
C1：1/4" 规格
典型应用
半导体：高温工艺气体管路、VMB、气瓶柜、蚀刻 / 沉积设备
光伏 / 面板：高纯气体分配系统（高温工况）
化工 / 制药：汽化器、灭菌装置、超临界 CO₂设备
超临界萃取 / 清洗：高温高压流体压力监测