东洋 EXSEV-WS 特殊环境用球轴承｜高温真空自润滑型

东洋 EXSEV-WS 特殊环境用球轴承｜高温真空自润滑型

东洋 EXSEV-WS 特殊环境用球轴承｜高温真空自润滑型

（一）产品规格

东洋 EXSEV-WS 特殊环境用球轴承覆盖微型至中小型尺寸系列，包含 6000、6200、6300 等主流内径规格，内径范围从 1mm 至 50mm，可适配不同设备轴径需求。轴承精度等级涵盖 P0 至 P4，满足普通至高精度运转场景。结构上分为开放型与防尘盖型（ZZ），防尘盖采用奥氏体不锈钢材质，可阻挡微颗粒侵入，同时不影响真空环境下的气体释放。滚动体可选用马氏体不锈钢或陶瓷球，陶瓷球型号适配高速、低发热工况，进一步提升极端环境适应性。

（二）核心特性

该轴承核心特性聚焦极端环境适配与稳定耐久。润滑系统采用含二硫化钨的固体润滑分离器，无需油脂，在高温 350℃、高真空 10⁻⁵Pa 环境中仍能保持低摩擦运转，杜绝油脂挥发污染，且润滑寿命显著优于传统净化轴承。材质方面，内外圈采用马氏体不锈钢，具备良好硬度与耐磨性，同时耐酸碱腐蚀，适配洁净与轻度腐蚀环境；滚动体与保持架的材质搭配优化，减少高温下的变形与磨损。真空性能突出，整体放气量极低，不会因气体释放干扰真空度，符合高真空设备的洁净要求。

（三）适用用途

东洋 EXSEV-WS 轴承主要应用于对洁净度、真空度、温度有严苛要求的高端工业领域。半导体制造设备中，可用于光刻设备、真空电机、晶圆传输系统的旋转部件，避免油脂污染晶圆与光学组件。真空镀膜领域，适配真空蒸镀装置、溅射设备的传动与支撑结构，保障高真空环境下的稳定运转。此外，还可用于液晶制造装置、PDP 生产设备等电子制造设备，以及空间环境模拟、精密真空实验装置等科研设备，适配横轴安装方式，满足特殊工况的运转需求。

（四）使用注意事项

安装时需保持作业环境洁净，避免粉尘、杂质附着轴承表面，建议在洁净室或无尘工作台操作，防止异物进入轴承内部影响运转精度。安装过程中禁止敲击轴承，采用均匀受力方式装配，避免内外圈变形或滚动体损伤。运转工况需控制在温度 - 20℃至 350℃、真空度不低于 10⁻⁵Pa 范围内，超出范围会影响润滑性能与轴承寿命。定期检查轴承运转状态，若出现异响、转速异常等情况，需及时停机排查，避免故障扩大；长期停机存放时，需置于干燥、洁净环境，防止受潮生锈。