Shimadzu 岛津 超纯水在线 TOC 仪表 TOC-1000e S
Shimadzu 岛津 超纯水在线 TOC 仪表 TOC-1000e SShimadzu 岛津 超纯水在线 TOC 仪表 TOC-1000e S一、核心参数（半导体专用高配版）岛津中国检测原理：172nm 准分子紫外氧化 + 电导率法（UV - 电导）量程：TOC 0～500μg/L；同步测：电导率、电阻率、水温检出限：0.02μg/L(20ppt)，普通 TOC-1000e 为 0.1μg/
Shimadzu 岛津 超纯水在线 TOC 仪表 TOC-1000e S
Shimadzu 岛津 超纯水在线 TOC 仪表 TOC-1000e S
一、核心参数（半导体专用高配版）岛津中国
检测原理：172nm 准分子紫外氧化 + 电导率法（UV - 电导）
量程：TOC 0～500μg/L；同步测：电导率、电阻率、水温
检出限：0.02μg/L(20ppt)，普通 TOC-1000e 为 0.1μg/L，S 版专为先进制程升级灵敏度
重复性：SD≤0.05μg/L，低 ppb 区间数据稳定
样品工况：水温 10～50℃、进水流量 30～500mL/min、水样电导率≤2μS/cmSHIMADZU CORPORATION
测量周期：2.5/5/10/15min 多档位可选，突发污染秒级快速响应岛津中国
机身：270×180×140mm，净重 3kg；IP33 防护，桌面 / 壁挂 / 立杆多方式安装
二、核心技术亮点
无汞 172nm 准分子灯 + Active-Path 光路
无汞环保，高能短波氧化能力远超传统汞灯，精准检出尿素、有机酸等难氧化有机物，解决半导体超纯水尿素残留漏检痛点。
串联流路实时在线
水样连续旁路进样，有机物突增瞬时捕捉，预警纯水系统异常污染。
7 英寸彩色触控屏，实时曲线 + 数值同屏显示。
三、信号输出与数据管理
模拟：3 路 4～20mA（TOC / 电阻率 / 温度自由分配）
数字：Modbus TCP、LAN 网页远程查看、USB 导出 CSV/PDF 报表
继电器触点：超限报警、故障告警无源接点输出，对接 DCS 系统
四、维护特点SHIMADZU CORPORATION
仅需定期更换准分子灯、蠕动泵管，正面开盖免工具拆装；可选外置标液进样器，现场四点自动校准。
五、适用场景
3nm/5nm 先进晶圆厂超纯水终端、EDI/RO 产水在线监控、电子厂高纯制程水；区别于标准版 1000e，S 版仅限半导体超纯水低浓度监测，不适用工业废水。