Shimadzu 岛津

Shimadzu 岛津 紫外、可见光和近红外分光光度计 SolidSpec-3700i DUV

Shimadzu 岛津 紫外、可见光和近红外分光光度计 SolidSpec-3700i DUVShimadzu 岛津 紫外、可见光和近红外分光光度计 SolidSpec-3700i DUV一、核心光学参数SHIMADZU CORPORATION波长范围标配:175~3300nm;搭载 DUV 直测单元 + 氮气吹扫:165~3300nm(深紫外下限 165nm)搭配 ISR-3700 积分球测

Shimadzu 岛津  紫外、可见光和近红外分光光度计 SolidSpec-3700i DUV

Shimadzu 岛津  紫外、可见光和近红外分光光度计 SolidSpec-3700i DUV




一、核心光学参数SHIMADZU CORPORATION

  1. 波长范围

  • 标配:175~3300nm;搭载 DUV 直测单元 + 氮气吹扫:165~3300nm(深紫外下限 165nm)

  • 搭配 ISR-3700 积分球测试:175~2600nmSHIMADZU CORPORATION

  • 双光栅双单色器立式三维双光束光路,杂散光≤0.00005%T@340nm,深紫外段杂散光控制优异

  • 狭缝:0.1~32nm 多档连续可调,最小分辨率0.1nm,测光量程 - 6.0~6.0Abs

  1. 原装三检测器标配(全波段无台阶漂移)

  • PMT 光电倍增管:165~900nm(深紫外 - 可见光高灵敏)

  • InGaAs 铟镓砷:900~1700nm(消除检测器切换断层)

  • 制冷 PbS 硫化铅:1700~3300nm(长波近红外低温降噪)

  1. DUV 核心专属配置

    整机光学仓 + 样品仓双独立氮气吹扫接口,除氧消除 190nm 以下氧气吸收干扰,是实现 165nm 深紫外测试关键,区别普通 3700i 标准版(仅 175nm 起测)SHIMADZU CORPORATION。

二、超大立式样品仓(机型标志性特点)

内腔尺寸:900(W)×700(D)×350(H)mm,样品平放测试,最大容纳700×560mm 大板试样(整片光伏玻璃、12 寸晶圆无需裁切);选配 X-Y 全自动位移台,310×310mm 区域面扫描,实现基板多点透射 / 反射测绘。

三、配套软件

原厂LabSolutions UV-Vis,满足 GLP/GMP、FDA 21CFR Part11 合规;功能:全波段光谱扫描、禁带宽度自动运算、定点光度、动力学监测、色度分析、光谱合格判定、漫反射建模,数据一键导出 Excel/CSVSHIMADZU CORPORATION。

四、常用选配附件

  1. ISR-3700 深紫外专用积分球:粉体、镀膜、硅片漫反射 / 全透射(175~2600nm)

  2. DUV 氮气供气系统、可变角反射附件、偏振测试组件、高低温固体夹具、全自动 X-Y 样品台、大尺寸光学镜片专用支架島津製作所

五、应用领域(主攻深紫外特种材料)

ArF 光刻晶体、深紫外光学玻璃、氟化物晶体、12 寸半导体晶圆、紫外镀膜、高端光伏盖板、红外光学元件、航空航天特种玻璃、深紫外激光元器件;国内头部光电研究所、晶圆厂、光学镀膜企业主力机型SHIMADZU CORPORATION。

六、机型定位

岛津固体测试顶端机型,在 UV-3600i Plus、普通 3700i 基础上增加165nm 深紫外能力 + 双仓氮气吹扫 + 超大样品室,全产品线唯一可稳定测 165nm 深紫外的台式全波段分光设备。
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