ORIENTAL MOTOR 东方马达

ORIENTAL MOTOR 东方马达 真空型(真空度10-5~10-4Pa) 步进电动机

ORIENTAL MOTOR 东方马达 真空型(真空度10-5~10-4Pa) 步进电动机 ORIENTAL MOTOR 东方马达 真空型(真空度10-5~10-4Pa) 步进电动机 在10-5~10-4Pa的真空环境下使用AC/DC输入真空型电动机的特征与结构为了抑制气体释放,电动机外壳使用铝、不锈钢材质,表面不涂装。 此外,轴承使用真空用润滑油。释放的气体与通常洁净环境下的成分

 ORIENTAL MOTOR 东方马达  真空型(真空度10-5~10-4Pa)  步进电动机  

 ORIENTAL MOTOR 东方马达  真空型(真空度10-5~10-4Pa)  步进电动机  


  • 在10-5~10-4Pa的真空环境下使用

  • AC/DC输入

真空型电动机的特征与结构

  • 为了抑制气体释放,电动机外壳使用铝、不锈钢材质,表面不涂装。 此外,轴承使用真空用润滑油。

  • 释放的气体与通常洁净环境下的成分相同,因此无须担心污染真空环境。

  • 使用可承受热处理温度的耐热用线圈。

αSTEP AR 系列真空电动机介绍

真空型电动机的优点

使设备小型化,扩大设计的自由度

在大气中设置电动机时,需使用传动机构等,设备体积会变大。 真空型电动机可将设置于真空环境内,因此可让设备小型化。 此外,αSTEP AR 系列不需要位置确认用传感器,有助于降低成本。

使用αSTEP AR 系列,无需编码器即可进行位置监控

αSTEP AR 系列除了通过闭环控制监视电动机信息外,还搭载各种Alarm输出功能。 不需要真空对应型的昂贵编码器。

搭载转子位置检测传感器,可检测电动机信息并控制电动机。

在真空中实现各种运动

常用于各式各样的用途,如半导体制造设备及电子显微镜的测量机器等。

真空型电动机可对应真空环境下的多轴平台,解决难以设计传动机构的问题。 可在真空中组合复数轴,实现更复杂的动作。

有助于维持真空环境的质量

抑制气体释放污染真空室的设计

为了抑制气体的产生,电动机表面不做涂装,轴承部分则使用了真空用润滑油。产生的气体方面,与通常洁净环境下的气体成分相同,因此使用时无需担心污染真空环境。

抑制温度上升维持真空压

通常,随着电动机电流值增加,真空压力会变高。 电动机温度上升主因是线圈或树脂材料的水分蒸发增加而导致。 若要让真空压维持较低状态,重点在于保持较低的电动机温度。

首页
产品
新闻
联系