SUMITOMO住友重机械 SWA-20US-M SWA“紫外”激光激光退火装置
SUMITOMO住友重机械 SWA-20US-M SWA“紫外”激光激光退火装置SUMITOMO住友重机械 SWA-20US-M SWA“紫外”激光激光退火装置一台高度多功能的手动机器，采用SWA-20US光学系统，拥有丰富的量产经验。应用示例：SiC组接触生成、激活等。手动机型适合开发和小规模生产。配备紫外激光器+高速扫描（OPTSWING）+工艺腔室，实现高质量工艺。* 若您偏好非紫外激光
SUMITOMO住友重机械 SWA-20US-M SWA“紫外”激光激光退火装置
SUMITOMO住友重机械 SWA-20US-M SWA“紫外”激光激光退火装置
一台高度多功能的手动机器，采用SWA-20US光学系统，拥有丰富的量产经验。
应用示例：SiC组接触生成、激活等。手动机型适合开发和小规模生产。
配备紫外激光器+高速扫描（OPTSWING）+工艺腔室，实现高质量工艺。
* 若您偏好非紫外激光器光源，请另行咨询。
特色
节省空间设计：
采用OPTSWING实现高速扫描
通过扫描束流实现高通量。
兼容8英寸晶圆
能够处理从小块到8英寸的晶圆。
顶帽梁
确保了卓越的平面内均匀性。
仿真技术
退火条件可以通过温度模拟进行优化。
工艺大气控制：
多种监测功能（束流形状等）
规格
| 模型 | SWA-20US-M | |
|---|---|---|
| 晶圆尺寸 | 〜φ150mm（6英寸） | ◯ |
| 激光 | 紫外-YAG激光 | 7W |
| 波束尺寸 | FWHM（好战） | φ80um |
| 工艺氛围 | N2 / 空气 | |
| 工艺温度 | 室温 | |
| 硅片处理 | 自动 | |