SUMITOMO住友重机械 SWA-20US 激光退火装置
SUMITOMO住友重机械 SWA-20US 激光退火装置SUMITOMO住友重机械 SWA-20US 激光退火装置下一代功率器件激光退火装置 应用示例：SiC组体接触的产生、激活等。在抑制非辐照表面温度上升的同时，金属-SiC界面被加热至高温，并采用OPTSWING*（专有高速扫描方法）生成组体接触。特色采用OPTSWING实现高速扫描通过扫描束流实现高通量。兼容8英寸晶圆能够处理从小块到8
SUMITOMO住友重机械 SWA-20US 激光退火装置
SUMITOMO住友重机械 SWA-20US 激光退火装置
下一代功率器件激光退火装置
应用示例：SiC组体接触的产生、激活等。在抑制非辐照表面温度上升的同时，金属-SiC界面被加热至高温，并采用OPTSWING*（专有高速扫描方法）生成组体接触。
特色
采用OPTSWING实现高速扫描
通过扫描束流实现高通量。
兼容8英寸晶圆
能够处理从小块到8英寸的晶圆。
顶帽梁
确保了卓越的平面内均匀性。
仿真技术
退火条件可以通过温度模拟进行优化。
工艺大气控制：多种监测功能（束流形状等）
规格
| 模型 | SWA-20US | |
|---|---|---|
| 晶圆尺寸 | 〜φ200毫米（8英寸） | ◯ |
| 激光 | 紫外-YAG激光 | 10W |
| 波束尺寸 | FWHM（好战） | φ100μm |
| 工艺氛围 | N2 / 空气 | |
| 工艺温度 | 室温 | |
| 硅片处理 | 自动 | |