SUMITOMO住友重机械 SWA-20GD 激光退火装置
SUMITOMO住友重机械 SWA-20GD 激光退火装置SUMITOMO住友重机械 SWA-20GD 激光退火装置高性能激光退火器件支持深度激活和双脉冲工艺 应用示例：IGBT背面激活该混合退火器件配备固体激光器和长波激光，实现独特的双脉冲工艺。它具有高重复、高脉冲能量稳定性、无维护且设计紧凑的固态激光器特性，推动半导体领域下一代工艺的发展。特色深度激活激活可达7微米。高脉冲能量稳定性配
SUMITOMO住友重机械 SWA-20GD 激光退火装置
SUMITOMO住友重机械 SWA-20GD 激光退火装置
高性能激光退火器件支持深度激活和双脉冲工艺 应用示例：IGBT背面激活
该混合退火器件配备固体激光器和长波激光，实现独特的双脉冲工艺。它具有高重复、高脉冲能量稳定性、无维护且设计紧凑的固态激光器特性，推动半导体领域下一代工艺的发展。
特色
深度激活
激活可达7微米。
高脉冲能量稳定性
配备能量反馈功能。实现平面均匀性σ<=1%。
双脉冲控制进一步控制温度分布和深度方向的时间
即使在温度限制下，退火工艺也能得到优化。
采用免维护固态激光器，实现高工作效率的生产。
与气体激光器相比，它显著降低了运行成本。
紧凑型激光振荡器
实现设备安装区域的空间节省。
规格
| 模型 | SWA-20GD | SWA-20GDA | SWA-90GD | SWA-90GDA | SWA-93GD | SWA-93GDA | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 晶圆尺寸 | 〜φ200毫米（8英寸） | ◯ | - | ||||
| φ300毫米（12英寸） | - | ◯ | |||||
| 激光 | DPSS 20宽×2 | 20mJ@1kHz | - | ||||
| DPSS 75宽×2 | - | 25mJ@3kHz | |||||
| QCWL 500W | - | 80mJ@3kHz | - | 80mJ@3kHz | - | 80mJ@3kHz | |
| 波束尺寸 | 宽度（FWHM） | 0.25毫米 | 0.3毫米 | ||||
| 长度（FWHM） | 2.5毫米 | ||||||
| 工艺氛围 | N2 / 空气 | ||||||
| 工艺温度 | 室温 | ||||||
| 硅片处理 | 自动>70umt | ||||||