SUMITOMO住友重机械 NV-GSDIII-180 高电流离子 植入装置
SUMITOMO住友重机械 NV-GSDIII-180 高电流离子 植入装置 SUMITOMO住友重机械 NV-GSDIII-180 高电流离子 植入装置它是具备后台加速的高电流离子植入设备的事实标准，能够覆盖中电流范围的部分区域，并支持多样化应用对于高电流器件，我们公司提供SHX系列单叶高电流器件，提供高精度、高质量且高效生产的离子植入技术。我们还提供NV-GSDIII-180批量型高
SUMITOMO住友重机械 NV-GSDIII-180 高电流离子 植入装置
SUMITOMO住友重机械 NV-GSDIII-180 高电流离子 植入装置
它是具备后台加速的高电流离子植入设备的事实标准，能够覆盖中电流范围的部分区域，并
支持多样化应用
对于高电流器件，我们公司提供SHX系列单叶高电流器件，提供高精度、高质量且高效生产的离子植入技术。我们还提供NV-GSDIII-180批量型高电流器件，支持最高180 keV的注入能量，支持高剂量植入。
通过NV-GSDIII-180，电力器件所需的高能和高剂量处理覆盖了中电流器件生产率下降的领域，从而实现了高生产力。
此外，它继承了GSD系列的高可靠性输送系统和剂量控制精度，减少停机时间，即使在低剂量下也能实现卓越的注射均匀性和重复性。
产品特点
兼容5英寸、6英寸和8英寸晶圆
支持从2~180 keV的广泛喷射能量范围（配备后部加速机构）
可靠的批量运输系统
高效通量
极为可靠的剂量控制精度
由于金属含量低且交叉污染低，光束质量较高
高可靠性和高可维护性