KASUGA春日电机 真空兼容静电势传感器 KS-3101

KASUGA春日电机 真空兼容静电势传感器  KS-3101

KASUGA春日电机 真空兼容静电势传感器  KS-3101

在真空中，缓解静电的气体成分被稀释，使静电比大气压力环境更严重地导致生产中断。

真空兼容的静电势传感器采用能够承受真空环境的材料和组件，可用于测量真空中产生的静电。 请利用它来识别真空过程中静电的产生原因，并持续监测静电势。

特征

真空中的大气压与线性

图示了在真空腔室内用KS-3101测量充电板电位后施加任意电压的结果。 即使在不同压力条件下（真空下10-3 Pa，大气压下10+5 Pa），也可以在不校准的情况下获得相同的测量。

*本数据为实际测量，非保证数值。