HORIBA堀场 面板型过程水质分析仪表HF-960M
日本 HORIBA堀场 面板型过程水质分析仪表HF-960M日本 HORIBA堀场 面板型过程水质分析仪表HF-960M一、产品定位HF‑960M 是堀场高端面板嵌入式过程水质专用变送器，专为半导体、电子、光伏行业氢氟酸（HF）等特殊药液、超纯水、高纯工艺水在线监测开发，可搭配专用氟离子 / 浓度传感器，实现 HF 浓度、pH、电阻率、温度等参数精准管控，四线制信号传输，抗干扰极强，日本原装工业级
日本 HORIBA堀场 面板型过程水质分析仪表HF-960M
日本 HORIBA堀场 面板型过程水质分析仪表HF-960M
一、产品定位
HF‑960M 是堀场高端面板嵌入式过程水质专用变送器，专为半导体、电子、光伏行业氢氟酸（HF）等特殊药液、超纯水、高纯工艺水在线监测开发，可搭配专用氟离子 / 浓度传感器，实现 HF 浓度、pH、电阻率、温度等参数精准管控，四线制信号传输，抗干扰极强，日本原装工业级精密仪表。
二、核心规格参数
型号：HF‑960M
测量项目：氢氟酸 HF 浓度 /pH/ 电阻率 / 温度（按需配置）
安装方式：DIN 标准面板嵌入式安装
信号输出：四线制 4‑20mA，供电与信号分离，远距离稳定传输
温度补偿：自动高精度温度补偿，适配药液温度波动
显示：高清大屏，多参数同步显示
控制输出：继电器上下限报警，联动加药、补液、排液、系统联锁
校准：专用标准液校准，精度稳定
防护等级：前面板 IP65，适配洁净车间、湿制程环境
供电：AC100‑240V / DC24V
通讯：支持对接 PLC/DCS 工控系统
三、核心优势
氢氟酸 HF 专用型，针对半导体 BOE 蚀刻液、HF 清洗液精准监测
耐强腐蚀工况，适配高纯度、高要求半导体湿制程
四线制输出，车间电磁干扰环境下数据稳定不漂移
模块化设计，可灵活扩展 pH、电阻率、浓度等测量通道
实时监控药液浓度，保障蚀刻均匀性，提升生产良率
四、配套传感器
适配堀场专用HF 氟离子浓度电极、电阻率电极、pH 电极，耐氢氟酸腐蚀，长期稳定。
五、典型应用
半导体晶圆 BOE 蚀刻、氢氟酸清洗工艺浓度在线监测
面板、光伏行业 HF 湿法制程管控
电子化学品、精细化工含氟药液过程监控
超纯水、高纯工艺水多参数综合监测