HORIBA 堀场

日本直供 HORIBA堀场 化学物质浓度监测仪CS-152F1

日本直供 HORIBA堀场 化学物质浓度监测仪CS-152F1日本直供 HORIBA堀场 化学物质浓度监测仪CS-152F1一、产品定位CS‑152F1 是堀场 CS 系列升级款在线化学药液浓度分析仪,面板嵌入式安装,四线制 4‑20mA 输出,主要用于半导体、光伏、面板、电子湿制程中强酸强碱、蚀刻液、清洗液、显影液、剥离液、氧化剂等化学品浓度实时在线监测,相比 CS‑151F1 精度、稳定性与耐

日本直供 HORIBA堀场 化学物质浓度监测仪CS-152F1

日本直供 HORIBA堀场 化学物质浓度监测仪CS-152F1


一、产品定位

CS‑152F1 是堀场 CS 系列升级款在线化学药液浓度分析仪,面板嵌入式安装,四线制 4‑20mA 输出,主要用于半导体、光伏、面板、电子湿制程中强酸强碱、蚀刻液、清洗液、显影液、剥离液、氧化剂等化学品浓度实时在线监测,相比 CS‑151F1 精度、稳定性与耐腐蚀性进一步提升,适配严苛药液环境,日本原装直供。

二、核心规格参数

  • 型号:CS‑152F1

  • 测量项目:化学药液浓度、温度

  • 测量原理:电导式 / 电化学精准检测,适配各类强腐蚀性药液

  • 安装方式:DIN 标准面板嵌入式

  • 信号输出:四线制 4‑20mA,供电信号分离,抗干扰强、远距离稳定传输

  • 温度补偿:自动高精度温度补偿,消除温度对浓度的影响

  • 显示:高清数显,浓度 / 温度 / 输出同步显示

  • 控制输出:继电器上下限报警,可联动加药、补液、排液、报警

  • 校准:标准药液一键校准,维护便捷

  • 防护:前面板 IP65,适配洁净车间、化工湿制程环境

  • 供电:AC100‑240V / DC24V

  • 通讯:支持对接 PLC/DCS 工控系统

三、核心优势

  1. CS‑151F1 升级款,传感器耐腐蚀性更强,适配更高浓度强酸碱、双氧水、氢氟酸等

  2. 测量精度更高,长期漂移小,适合半导体高端制程精密管控

  3. 四线制信号,车间电磁干扰环境下数据稳定,不跳变

  4. 适配湿制程全流程:蚀刻、清洗、显影、剥离、电镀等工艺

  5. 实时浓度监控,减少化学品浪费,提升晶圆 / 面板生产良率

四、适配监测药液

氢氟酸 HF、硫酸、硝酸、氨水、双氧水、显影液、剥离液、BOE 蚀刻液、电镀液、碱性清洗剂等。

五、典型应用

  • 半导体晶圆、芯片、面板湿制程药液浓度在线监测

  • 光伏电池片清洗、制绒、蚀刻工艺管控

  • 电子化学品、精细化工生产过程浓度监控

  • 电镀、表面处理药液在线监测


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