HORIBA堀场 碳传感器电阻率计HE-960R-GC(W)
HORIBA堀场 碳传感器电阻率计HE-960R-GC(W)HORIBA堀场 碳传感器电阻率计HE-960R-GC(W)一、产品定位HE‑960R‑GC(W) 是堀场超纯水专用面板安装型在线监测仪表，集成电阻率 + TOC 总有机碳 + 温度三合一测量，专为半导体、面板、光伏、电子行业18.2MΩ・cm 超纯水制程设计，搭配平面型 TOC 碳传感器，实时监控水质纯度与有机物污染，四线制信号输出，日
HORIBA堀场 碳传感器电阻率计HE-960R-GC(W)
HORIBA堀场 碳传感器电阻率计HE-960R-GC(W)
一、产品定位
HE‑960R‑GC(W) 是堀场超纯水专用面板安装型在线监测仪表，集成电阻率 + TOC 总有机碳 + 温度三合一测量，专为半导体、面板、光伏、电子行业18.2MΩ・cm 超纯水制程设计，搭配平面型 TOC 碳传感器，实时监控水质纯度与有机物污染，四线制信号输出，日本原装工业级仪表。
二、核心参数
型号：HE‑960R‑GC (W)
测量项目：电阻率、TOC 总碳、温度
电阻率量程：0～20 MΩ・cm（适配超纯水）
TOC：微量级高精度检测，适合高纯水环境
安装：DIN 标准嵌入式面板安装
信号输出：四线制 4‑20mA，抗干扰，适配长距离传输
控制输出：继电器报警、上下限控制，可联动排污、预警
通讯：可接入 PLC/DCS 系统
供电：AC100‑240V / DC24V
防护：前面板 IP65，洁净车间适用
后缀含义：GC=TOC 碳检测功能；W = 超纯水专用规格
三、配套传感器
标配适配：FS‑09F‑1/2 平面式碳传感器（电阻率 + TOC 一体）平面结构不易积垢、易清洗，适合长期在线使用。
四、核心优势
电阻率 + TOC 同时监测，精准把控超纯水两大核心指标
针对 18.2MΩ・cm 超纯水优化，低漂移、高稳定性
四线制传输，纯水车间电磁干扰环境下数据稳定
平面传感器不易吸附杂质，维护周期长
报警联动，异常水质及时预警，保障芯片 / 晶圆清洗安全
五、应用场景
半导体晶圆、芯片、面板超纯水系统
光伏、新能源、精密电子清洗制程
EDI 超纯水设备、制药纯化水在线监测