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NPM日脉SPS100TD-050 超精密无铁芯直线电机

NPM日脉SPS100TD-050 超精密无铁芯直线电机 NPM日脉SPS100TD-050 超精密无铁芯直线电机 SX100轴电机,行程50毫米SPS纳米定位系列是一种高精度直线轴电机级,结合了伺服级的速度和压电级的精度。驱动源为无芯线轴电机,能实现极高的稳定性和定位精度,无需齿轮。导向器使用交叉滚轮导轨。 此外,动轴系统提升了连续运行时的稳定性、可靠性和耐用性。轴电机无摩擦,因此无噪音或灰尘,

NPM日脉SPS100TD-050 超精密无铁芯直线电机 

NPM日脉SPS100TD-050 超精密无铁芯直线电机 

SX100轴电机,行程50毫米

SPS纳米定位系列是一种高精度直线轴电机级,结合了伺服级的速度和压电级的精度。

驱动源为无芯线轴电机,能实现极高的稳定性和定位精度,无需齿轮。
导向器使用
交叉滚轮导轨。 此外,动轴系统提升了连续运行时的稳定性、可靠性和耐用性。

轴电机无摩擦,因此无噪音或灰尘,也无需维护电机。NPM 日脉 SPS100TD-050 属于 SPS 纳米定位系列,是一款搭载 SX100T 无铁芯直线电机超精密、短行程、轻载定位滑台,专为纳米级定位、微振动、高速往复场景设计。

核心技术特性

  • 无铁芯电机零齿槽效应、零 cogging,运行极致平滑、无抖动

  • 非接触驱动零摩擦、零磨损、静音、低发尘,适配洁净室

  • 纳米级精度:最高 5 nm 编码器,定位精度达亚微米级

  • 交叉滚子导轨高刚性、零间隙、微振动,承载稳定。

  • 动轴结构:动定子设计,惯量低、响应快,适合高频往复。

  • 免维护:无机械接触部件,终身无需润滑、保养

典型应用

  • 半导体:晶圆检测、探针台、芯片封装

  • 精密光学:镜头对焦、光学扫描、激光加工

  • 生物医药:细胞操作、精密点胶、显微操作

  • 3C 电子:微组装、金线键合、精密检测

  • 科研仪器:精密位移、纳米定位、振动测试


规格

有效冲刺50(±25)
限杆51(±25.5)
机甲终击52(±26)
所用电机 SX100T-DC-X0
驱动输入电压VDC24~48
额定推力/电流N/Arms6.8N/1.1Arms
加速推力/电流N/Arms27N/4.3臂
指导 带防滑的横滚子导轨
编码器解析μm增量 1/0.5/0.1/0.05/0.025/0.01/0.005/0.0025
绝对 0.01/0.005
编码器输出信号 增量AB阶段/绝对谷物(松下)
起源传感器 在原点中心附近,±极限(仅增量AB相)
舞台尺寸140×107×26
电机/编码器电缆长度1000
运动部件质量公斤0.57
级质量(不含电缆)公斤0.97
起重能力 *1N300磅(30公斤)
重复性 *2μm≦±0.3
直线性 *3 μm≦2/25毫米

*1 ・・・ 线性导轨的载荷容量值(根据工作条件可能有限制。) 请向我们查询详情。
*2 ·・・ 使用0.1μm分辨率编码器
时的参考数据 *3 ・・ 误差(μm) / 每25mm移动的最大误差

轮廓图


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