NPM日脉 SPS100TD-050 超精密无铁芯直线电机
NPM日脉 SPS100TD-050 超精密无铁芯直线电机NPM日脉 SPS100TD-050 超精密无铁芯直线电机SX100轴电机，行程50毫米SPS纳米定位系列是一种高精度直线轴电机级，结合了伺服级的速度和压电级的精度。驱动源为无芯线轴电机，能实现极高的稳定性和定位精度，无需齿轮。导向器使用交叉滚轮导轨。 此外，动轴系统提升了连续运行时的稳定性、可靠性和耐用性。轴电机无摩擦，因此无噪音或灰尘，
NPM日脉 SPS100TD-050 超精密无铁芯直线电机
NPM日脉 SPS100TD-050 超精密无铁芯直线电机
SX100轴电机，行程50毫米
SPS纳米定位系列是一种高精度直线轴电机级，结合了伺服级的速度和压电级的精度。
驱动源为无芯线轴电机，能实现极高的稳定性和定位精度，无需齿轮。
导向器使用
交叉滚轮导轨。 此外，动轴系统提升了连续运行时的稳定性、可靠性和耐用性。
轴电机无摩擦，因此无噪音或灰尘，也无需维护电机。
NPM 日脉 SPS100TD-050 属于 SPS 纳米定位系列，是一款搭载 SX100T 无铁芯直线电机的超精密、短行程、轻载定位滑台，专为纳米级定位、微振动、高速往复场景设计。
核心技术特性
无铁芯电机：零齿槽效应、零 cogging，运行极致平滑、无抖动。
非接触驱动：零摩擦、零磨损、静音、低发尘，适配洁净室。
纳米级精度：最高 5 nm 编码器，定位精度达亚微米级。
交叉滚子导轨：高刚性、零间隙、微振动，承载稳定。
动轴结构：动定子设计，惯量低、响应快，适合高频往复。
免维护：无机械接触部件，终身无需润滑、保养。
典型应用
半导体：晶圆检测、探针台、芯片封装
精密光学：镜头对焦、光学扫描、激光加工
生物医药：细胞操作、精密点胶、显微操作
3C 电子：微组装、金线键合、精密检测
科研仪器：精密位移、纳米定位、振动测试
规格
| 有效冲刺 | 嗯 | 50（±25） |
|---|---|---|
| 限杆 | 嗯 | 51（±25.5） |
| 机甲终击 | 嗯 | 52（±26） |
| 所用电机 | SX100T-DC-X0 | |
| 驱动输入电压 | VDC | 24~48 |
| 额定推力/电流 | N/Arms | 6.8N/1.1Arms |
| 加速推力/电流 | N/Arms | 27N/4.3臂 |
| 指导 | 带防滑的横滚子导轨 | |
| 编码器解析 | μm | 增量 1/0.5/0.1/0.05/0.025/0.01/0.005/0.0025 绝对 0.01/0.005 |
| 编码器输出信号 | 增量AB阶段/绝对谷物（松下） | |
| 起源传感器 | 在原点中心附近，±极限（仅增量AB相） | |
| 舞台尺寸 | 嗯 | 140×107×26 |
| 电机/编码器电缆长度 | 嗯 | 1000 |
| 运动部件质量 | 公斤 | 0.57 |
| 级质量（不含电缆） | 公斤 | 0.97 |
| 起重能力 *1 | N | 300磅（30公斤） |
| 重复性 *2 | μm | ≦±0.3 |
| 直线性 *3 | μm | ≦2/25毫米 |
*1 ・・・ 线性导轨的载荷容量值（根据工作条件可能有限制。） 请向我们查询详情。
*2 ·・・ 使用0.1μm分辨率编码器
时的参考数据 *3 ・・ 误差（μm） / 每25mm移动的最大误差
轮廓图
