【高斯摩分享】 ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵

ULVAC爱发科

多级罗茨干式真空泵

什么是多级罗茨干式真空泵？

　多级罗茨真空泵是一种在真空室中不使用油或液体的机械真空泵。

多级罗茨干式真空泵的特点

　罗茨干式真空泵是一种集成多级机械增压泵的干式真空泵。采用三叶转子的罗茨式干式真空泵，在一根轴上连接有多个转子，可以压缩并排出空气直至大气压。转子壳内不使用油等密封液，排气干净。齿轮和轴承的润滑采用油，但设计了密封结构以防止油进入壳体。

【优点】可获得洁净的真空，从大气压到极限压力均可使用。

【缺点】容积效率比接触泵差。

多级罗茨干式真空泵的工作原理

气体由高速旋转的转子输送

　该泵在一个称为壳体的盒子内有两个三叶转子（旋转体），它们通过一对齿轮以相同的速度沿相反方向旋转。转子之间、转子与壳体之间并不接触，而是保持较小的间隙旋转，以输送和压缩气体。转子采用多级结构，将气体压缩至大气压，并排入大气。

多级罗茨干式真空泵的主要用途

FPD制造设备、半导体制造设备、真空蒸馏、净化脱气、灭菌、干燥、脱水、消毒等。

CVD装置、蚀刻装置、灰化装置、ALD、ALH等，PVD工艺

应用

空气、惰性气体等清洁气体的真空排气

各种成膜设备装料室、卸料室的排气

真空干燥、真空气体置换、真空脱气等一般工业应用

真空绝热、充气等真空气体置换

应用行业：

FPD、电子、半导体领域等。

化工、制药、太阳能光伏、食品和医疗等领域。‌

CR系列风冷罗茨式干式真空泵

用途：

应用

空气、惰性气体等清洁气体的真空排气

真空干燥等水蒸气排放（需使用气镇）

用于溅射、沉积等的真空设备。

LR系列应用

成膜设备（溅射设备/蒸镀设备等）

缩短准备和取出室的排气时间

作为辅助排气泵（涡轮分子泵和机械增压泵的辅助排气）