【高斯摩分享】DIC 迪爱生 SEPAREL PF-26F (T) 化学制剂溶剂脱气模组，精密制程药液微气泡解决方案
【高斯摩分享】DIC 迪爱生 SEPAREL PF-26F (T) 化学制剂溶剂脱气模组，精密制程药液微气泡解决方案
【高斯摩分享】DIC 迪爱生 SEPAREL PF-26F (T) 化学制剂溶剂脱气模组，精密制程药液微气泡解决方案
随着半导体、显示、精密涂布工艺标准持续升级，管路药液内溶解氧气、二氧化碳以及微小气泡，极易造成涂布针孔、线路断线、喷头堵塞、药液提前氧化变质等不良缺陷。DIC 迪爱生 PF-26F (T) 作为 PF-F 系列低压损改良款中空纤维脱气模组，依托全氟树脂耐腐蚀构造，成为腐蚀性有机溶剂、酸碱药液在线连续脱气优选方案。
产品基础信息与技术原理
PF-26F (T) 为内灌流式脱气模组，液体流经 PTFE 中空纤维内腔，模组外部建立真空环境，依靠气体分压差选择性透过膜层，脱除流体内部溶解气体；致密表皮膜结构可以抑制溶剂渗透流失，稳定药液浓度。型号后缀（T）代表内部流道优化升级，相比标准型号有效降低管路压力损失。
核心技术参数
适用流量：1～500mL/min
最大承压：0.294MPa
使用温度区间：5～40℃
接液材质：PTFE 氟树脂（无任何金属接触介质，杜绝金属离子溶出污染）
液体接口：10mm 支柱接头；真空接口：Rc1/4 内螺纹
核心产品优势
1、广谱耐化学腐蚀
全部流体接触部件采用氟树脂材质，兼容强酸、强碱、IPA、PGMEA、光刻胶、各类稀释剂、溶剂型墨水，适配多样化腐蚀性流体工况。
2、低压损流道设计，适配低压循环系统
优化内部流体通道，输送阻力更低，减轻计量泵负载，特别适合高粘度光刻药液、低压密闭循环供液回路，长期运行工况更稳定。
3、支持反向冲洗，便于维护保养
内灌流结构允许定期反向冲洗膜组件，清除膜面细微析出物与杂质，延缓膜元件堵塞，延长模组使用寿命，减少更换频次。
4、结构紧凑，易于产线集成
圆柱形标准化壳体，体积适中，可直接串联集成于自动化药液供给管路；支持多支模组串联扩容，匹配不同产线流量需求。
重点应用领域
1、半导体晶圆制造
光刻胶供给回路、显影液、剥离液、蚀刻药液在线持续脱气。消除管路微气泡，规避晶圆曝光线路缺陷、表面针孔，保障涂胶、湿法清洗工艺一致性。
2、LCD/OLED 显示面板生产
感光药液、清洗剂、稀释溶剂持续脱泡，避免气泡造成薄膜涂布厚薄不均，提升光学膜层生产良率。
3、工业溶剂喷墨打印
电子线路喷墨、工业数码印刷墨水脱气，消除溶解气体，解决打印断墨、白点瑕疵，保护精密喷墨喷头。
4、新能源精密涂布工艺
锂电池隔膜、功能薄膜溶剂管路脱气，预防涂层缩孔、气泡缺陷，稳定薄膜产品品质。
5、精细化工与分析设备
有机试剂输送系统、实验室连续合成装置流体预处理，降低溶剂氧化速度，维持药液组分稳定。
行业应用价值总结
传统脱气元件普遍存在耐溶剂能力不足、运行压力损耗大、易引入金属污染等短板，难以适配高端精密电子腐蚀性药液工况。
PF-26F (T) 兼顾全氟耐蚀特性与低压损运行优势，实现流体在线持续脱气除泡。在制造业制程精度不断提升的背景下，该款脱气模组广泛配套各类药液循环系统，助力企业降低不良率，实现工艺稳定管控。
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