【高斯摩】日本原装 Yamato雅马拓 清洁内置烤箱DTH630I

DTH630I 洁净惰性烤箱，属于无尘无氧高温热处理设备，箱体具备高气密结构，集成洁净循环与惰性气体置换系统。设备能够同时实现高洁净环境与低氧氛围高温加工，最高温度可达 500℃，箱内可维持 100 级洁净标准，氧浓度能够控制在 10ppm 以内，适合对颗粒污染、氧化变质管控严苛的精密元器件热处理工序。整机采用水冷密封结构，保护门体密封件不受高温影响，适配半导体、光电行业高端制程使用。

搭载耐高温高效过滤器，全程抑制箱内粉尘产生，升温、恒温阶段均可稳定维持洁净环境。腔体高气密构造配合多路惰性气体流量调节机构，氮气置换效率高，能够快速降低内部氧气浓度，减少惰性气体消耗量。支持多段温度程序编辑运行，升降温速率自由设定，温控响应平稳，腔内温场分布均匀。可拓展在线氧浓度监测模块，实时观测内部氧含量，支持到达目标氧浓度后自动启动加热。配套完善安全机制，搭载独立超温防止装置、故障自诊断、紧急停止按钮；箱体标配冷凝回收机构，收集处理排气产生的凝结物，避免管路堵塞。箱内搁板布局灵活，可承载多批次试样同步加工。

广泛用于半导体晶圆烘烤、聚酰亚胺、PBO 树脂固化、显示基板退火、精密电子零部件无氧烘烤、光学元器件无尘热处理。面向半导体制造、光电面板企业、新材料研发实验室、精密电子加工厂商、高端第三方测试机构。

设备安置区域保持通风，稳定供应高纯氮气、冷却水与外部排气管路。定期检查水冷回路、箱体密封部件，按时更换耐高温 HEPA 过滤器。定期清理排气管路冷凝沉积物，定期校准温控系统与氧浓度监测组件。设备处理有机物料时必须配套尾气处理装置。本机不适用于易燃易爆样品直接加热，设备出现异常请勿自行拆解，联系专业人员检修。