【高斯摩】日本直供 NOK O型圈 半导体用O型圈全氟弹性体

一、产品概述

二、结构与规格

三、材质特性

四、基础参数

• 常规硬度：70、80 邵氏 A 两款主流规格

• 适用压力：静态密封≤15MPa，动态密封≤5MPa

• 洁净等级：符合 ISO 14644-1 Class 1 标准

• 真空适配：可稳定用于 10⁻⁷Pa 高真空环境

• 动态线速度：建议≤0.5m/s

五、核心特点

1. 耐化学性能顶尖，可应对半导体全品类工艺介质与等离子体，使用寿命远优于普通氟橡胶。

2. 生产全程无尘管控，微粒、有机挥发物、离子析出量极低，不会污染晶圆与制程环境。

3. 宽温域性能稳定，反复热循环后不易硬化、开裂，适配设备高低温交替工况。

4. 密封性能持久，抗挤压形变能力强，减少设备故障与停机维护频次。

5. 原装标准尺寸，通用性强，可直接替换同规格配件。

六、应用场景

七、安装与使用说明

1. 必须在对应等级洁净室内作业，提前清理沟槽与接触面，彻底去除毛刺、粉尘、残留药剂。

2. 佩戴无粉手套操作，禁止徒手接触胶圈，轻拿轻放，切勿拉扯、扭转、刮擦。

3. 如需辅助润滑，仅使用全氟类专用油脂，严禁使用普通润滑油。

4. 安装压缩量控制在 15%-25% 之间，避免挤压过度加速老化。

5. 定期巡检，出现渗漏、硬化、异常产尘时，及时更换同规格产品。